ইনফ্রারেড বনাম ফোর্সড এয়ার: আপনার ক্লিনরুমের জন্য কোনটি উপযুক্ত?
সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে ফোর্সড এয়ার থেকে ইনফ্রারেড হিটিং ব্যবহার করা মানে শুধুমাত্র এক ধরনের পরিবর্তন নয়; এটা হলো শক্তি ব্যবহারের ক্ষেত্রে একেবারে ভিন্ন ধরনের দৃষ্টিভঙ্গি।
ফোর্সড এয়ার ব্যবহার করলে আপনি আসলে একটি “বিশাল বায়ুমণ্ডল”কে উত্তপ্ত করছেন; আশা করা হয় যে এই তাপ অবশেষে সাবস্ট্রেট পর্যন্ত পৌঁছাবে। কিন্তু এতে অনেক সময় লাগে। আপনাকে অপেক্ষা করতে হয়… আর এই অপেক্ষার সময়টাই আপনার উৎপাদনশীলতার জন্য বড় বাধা হয়ে দাঁড়ায়।
গতির পার্থক্যটা অবিশ্বাস্য।
ইনফ্রারেড হিটিংয়ের ক্ষেত্রে আপনি ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক বিকিরণ ব্যবহার করছেন। এর জন্য বায়ুর কোনো প্রয়োজন নেই; এটা সরাসরি লক্ষ্যবস্তুকে আঘাত করে এবং তৎক্ষণাৎ তাপ উৎপন্ন করে।
ওয়েফারগুলো গরম করার ক্ষেত্রে এটা খুবই কার্যকর। বায়ু উত্তপ্ত হতে কয়েক মিনিট সময় লাগে; কিন্তু ইনফ্রারেড হিটিংয়ে কয়েক সেকেন্ডই যথেষ্ট। এটা খুবই দ্রুত। আর এটাই আপনার উৎপাদনশীলতাকে বাড়িয়ে দেয়।
কিন্তু এখানেও কিছু সমস্যা রয়েছে।
বায়ু সরবরাহ ব্যবস্থাগুলো আসলে কণা সরবরাহের যন্ত্র। আপনার HEPA ফিল্টারগুলো যতই দামী হোক না কেন—যদি আপনি বায়ু সরবরাহ করেন, তাহলে আপনার সিলিকনে দূষণ হওয়ার ঝুঁকি থাকে।
কিন্তু ইনফ্রারেড হিটারগুলো শুধুমাত্র সেখানেই থাকে। কোনো ব্লোয়ার নেই, কোনো জটিল ডাক্ট নেই… ফলে ধূলো উড়ে যাওয়ার কোনো সমস্যা নেই। আপনি ছোট জায়গায়ই কাজ করতে পারেন… আর সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ ব্যাপার হলো, আপনার কাজের জায়গাটি অনেক পরিষ্কার থাকে।
কিন্তু এটা সম্পূর্ণ জাদু নয়… এখানেও কিছু সমস্যা রয়েছে।
ইনফ্রারেড হিটিং হলো দিকনির্দেশমূলক। এটা ঠিক একটি টর্চের মতো… যদি আপনার ল্যাম্পের অবস্থান ঠিক না থাকে, অথবা রিফ্লেক্টরের কোণগুলো ঠিক না থাকে, তাহলে কিছু জায়গায় অতিরিক্ত তাপ সৃষ্টি হবে।
আপনি এটাকে ঠিক করে রাখতে পারেন না… আপনাকে অবশ্যই সঠিক অবস্থান নির্ধারণ করতে হবে। যদি আপনি একটি জায়গায় অতিরিক্ত ওয়াট ব্যবহার করেন, তাহলে সেন্সরগুলো কিছু বোঝার আগেই তাপমাত্রা অতিরিক্ত হয়ে যাবে… আর আপনার ওয়েফারটি নষ্ট হয়ে যেতে পারে।
এটা সেট আপ করতে একটু বেশি সতর্কতা দরকার… কিন্তু যখন আপনি দূরত্ব ও ওয়াটেজ ঠিক করে ফেলেন, তখন এটা সম্পূর্ণ ভিন্ন অবস্থা হয়ে যায়।