ফ্যাব ফ্লোরে, আটকে থাকা আর্দ্রতা—ফটোরেজিস্টে বা ওয়েফার ইন্টারফেসে—থার্মাল নিয়ন্ত্রণে বিঘ্ন ঘটায়। এটি তাপকে ছড়িয়ে দেয়, এবং আপনার সফট বেক এবং হার্ড বেক প্রোফাইল লক্ষ্য থেকে সরে যায়। এর ফলস্বরূপ হয় ফুটিং, স্কামিং, এবং লাইন-প্রস্থের পরিবর্তন যা ফলনকে ক্ষতিগ্রস্ত করে। আমরা একটি ওয়েফার আর্দ্রতা অপসারণ ল্যাম্প তৈরি করেছি যাতে এই পরিবর্তনশীলতাকে সমাধান করা যায়।
প্রকৃতপক্ষে গুরুত্বপূর্ণ কি
আমরা একটি কোর্টজের আবরণে একটি শর্ট-ওয়েভ হ্যালোজেন ইমিটার চালাই, যা একটি ক্লোজড-লুপ পাইরোমিটার সহ যুক্ত। এর ফলে ওয়েফার স্তরের তাপীয় একরূপতা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে, এবং প্রতিক্রিয়া সাব-সেকেন্ডে ঘটে, ফলে বেক কার্ভের মধ্যে র্যাম্প দৃঢ় থাকে। মডিউলটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে প্রবেশ করে এবং ডিজাইনের মাধ্যমে কণা সংখ্যা স্থিতিশীল রাখে: ল্যাম্প অ্যাসেম্বলি শূন্য কণা উৎপন্ন করে, এবং চেম্বার লিনার ইনার্ট এবং নন-আউটগ্যাসিং। পাওয়ার ঘনত্ব উন্নত নোডের তাপীয় বাজেটে টিউন করা হয়েছে, এবং পুনরাবৃত্তি একটি ক্যালিব্রেটেড ইমিসিভিটি টেবিল দ্বারা স্থির থাকে প্রতি ফিল্ম স্ট্যাকের জন্য।
লিথোগ্রাফি এবং প্যাকেজিংয়ে কেন এটি গুরুত্বপূর্ণ
লিথোগ্রাফিতে, সফট বেক দ্রাবক বাষ্পীভবনকে চালিত করে এবং ফিল্মের চাপ নির্ধারণ করে; হার্ড বেক মাস্ক ইন্টারফেসকে এচের আগে স্থিতিশীল করে। আপস্ট্রিমে আর্দ্রতা অপসারণ করুন, এবং দুটি বেক লক্ষ্যেই থাকে। আপনি কম পুনরায় কাজ এবং উন্নত গুরুত্বপূর্ণ মাত্রা একরূপতা পাবেন।
আপনার দ্রুত কোট-বেক সাইকেলও পাবেন তাপীয় অতিরিক্ততা ছাড়াই, এবং কার্যকর NIR জোড়ের কারণে প্রতি লটের জন্য কম শক্তি। লট থেকে লটে, ফলাফল স্থিতিশীল থাকে। প্যাকেজিং লাইনে, এটি আন্ডারফিল প্রস্তুতি পৃষ্ঠাগুলি শুকিয়ে দেয়, খালি স্থান কমায় এবং আঠালোতা উন্নত করে।
আপনার পরিকল্পনার জন্য প্রয়োজনীয় বাস্তবিক বিস্তারিত
স্থাপনায় একটি নিবেদিত এক্সস্ট পথ এবং একটি পরিচ্ছন্ন পাওয়ার ফিড প্রয়োজন যাতে তাপমাত্রার পরিবর্তন 0.2°C/ঘণ্টার নিচে থাকে। ল্যাম্প হেড স্ট্যান্ডার্ড ট্র্যাক পোর্টগুলির সাথে ইন্টারফেস করে, তবে পদচিহ্ন কিছু পুরানো কোট-বেক সেলের জন্য একটি ছোট যান্ত্রিক অ্যাডাপ্টার ছাড়া ফিট হবে না।
একটি সংক্ষিপ্ত যোগ্যতা চালান যাতে প্রতি স্ট্যাকের জন্য ইমিসিভিটি ম্যাপ করা যায় এবং পাইরোমিটারের অফসেট সেট করা যায়। একবার ক্যালিব্রেটেড হলে, প্রক্রিয়া স্থিতিশীল থাকে, এবং ল্যাম্প 24/7 চলে যায় সর্বনিম্ন আউটপুট ক্ষয় সহ।