V provozu není teplotní odchylka nějakým akademickým problémem – jedná se o vážný problém. V továrnách na výrobu LCD panelů může jeden „horký bod“ během zpracování fotorezistu narušit správné nanášení vrstev, zatímco chladné oblasti způsobí nedostatečné zpracování okrajů desek. Vytvořili jsme tyto infračervené ohřívače právě proto, abychom potlačili tuto variabilitu hned na počátku procesu.
Co je opravdu důležité
Používáme krátkovlnné infračervené záření s rychle reagujícími kvartovými prvky – díky tomu je teplo zaměřené a rychlé. Ohříváme samotnou desku, nikoliv vzduch v komoře. To zajišťuje rovnoměrnost teploty na povrchu desky v rozmezí ±0,1 °C. Řízení v uzavřené smyčce zajišťuje opakovatelnost hodnot teploty pod hranicí 0,1 °C, takže parametry procesů zůstávají konstantní i při opakovaných cyklech. Ohřívače jsou vhodné pro prostředí čistých místností tříd 1–100 – používají materiály s nízkou emisí částic a jejich konstrukce nevytváří žádné částice.
Důvodem, proč to funguje právě tam, kde je to důležité – při litografii a zpracování fotorezistu – je ten, že termální rozpočet je velmi omezený. Tyto ohřívače rychle zahřejí desku na požadovanou teplotu, takže doba cyklu se zkrátí bez ztráty přesnosti. Vyšší rovnoměrnost znamená méně vad na okrajích desek a lepší výtěžnost. Navíc konstrukce ohřívačů je vhodná pro prostředí čistých místností, což zajišťuje nízký počet částic, které by mohly poškodit povrch desky. Ušetříte také energii – teplo totiž proudí přímo do cíle, a ne do celé místnosti.
Několik praktických poznámek: Ohřívače musí být umístěny v linii pohledu a potřebují stabilní napájení – kolísání napětí může ovlivnit výkon ohřívačů a narušit rovnoměrnost. Je potřeba zajistit stabilní napájení a také správné rozestupy mezi jednotlivými prvky. Jakmile jsou ohřívače správně zarovnány, systém může fungovat dlouhou dobu bez údržby. Avšak zarovnání a čistota musí být součástí pravidelné preventivní údržby.