Přestaňte zahřívat nástroj a začněte zahřívat wafer Standardní infračervené lampy jsou v podstatě žárovky – vyzařují teplo ve všech směrech. V...

Při inspekci se stabilita teploty měří v stupních, ne v minutách. Několik desetin stupně odchylky během zahřívání fotoresistu stačí k narušení...