Im Produktionsprozess ist Temperaturunterschiede kein akademisches Problem – sie führen vielmehr zu Fehlern bei der Herstellung. In einer LCD-Panelfabrik kann bereits ein einziger Wärmepunkt während des Trocknungsprozesses des Photoresists dazu führen, dass die Schichten nicht richtig aufeinander liegen. Kalte Stellen wiederum führen dazu, dass die Ränder der Oberfläche unvollständig ausgehärtet werden. Wir haben diese Infrarotheizungen entwickelt, um solche Schwankungen bereits dort zu beseitigen, wo sie entstehen.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahlung mit schnell reagierenden Quarzelementen. Dadurch wird die Wärme gezielt und schnell abgegeben. Es wird nur das Substrat erwärmt, nicht die Luft im Raum. Dadurch wird eine Homogenität auf der Aktivoberfläche von ±0,1°C erreicht. Die Schließschleifensteuerung sorgt dafür, dass die Temperaturstabilität unter 0,1°C bleibt – dadurch bleiben die Profile beim Weich- und Harteinbrennen konstant. Die Heizungen sind für Reinraumbedingungen der Klassen 1–100 geeignet. Sie verwendet Materialien mit geringer Gasemission sowie eine Konstruktion, die keine Partikelbildung verursacht.
Das funktioniert besonders gut in Bereichen wie der Lithografie und der Verarbeitung von Photoresisten. Der thermische Bedarf ist hier sehr hoch. Diese Heizungen bringen das Substrat schnell auf die gewünschte Temperatur – dadurch verkürzt sich die Prozesszeit, ohne dass die Genauigkeit der Profile beeinträchtigt wird. Eine höhere Homogenität bedeutet weniger Fehler an den Rändern und eine höhere Ausbeute. Zudem sorgt die reinraumtaugliche Konstruktion dafür, dass die Partikelzahl niedrig genug bleibt, um die Qualität der Produkte zu gewährleisten. Zudem wird Energie eingespart, denn die Wärme geht direkt ins Ziel, nicht in den Raum.
Ein paar praktische Hinweise:
Diese Heizungen benötigen eine klare Sichtlinie zum Substrat sowie einen stabilen Stromversorgungspfad. Spannungsschwankungen können die Leistung beeinträchtigen und somit die Homogenität verschlechtern. Stellen Sie sicher, dass die Versorgung stabil ist und dass es ausreichend Freiraum entlang des Substratpfades gibt. Sobald die Heizungen richtig ausgerichtet sind, kann das System über längere Zeit ohne Wartung betrieben werden. Doch Ausrichtung und Reinlichkeit müssen weiterhin Teil der regelmäßigen Wartung sein.