در این فرآیند، آن ویفر ۳۰۰ میلیمتری در حالت انتظار است تا لامپ مربوط به بستهبندی تراشههای Mini LED، فرآیند گرمایشی لازم را انجام دهد؛ فرآیندی که باعث ایجاد چسبندگی مناسب، خشک شدن مواد و افزایش قابلیت اطمینان تراشهها میشود. اگر دمای فرآیند حتی کمی تغییر کند، ساختار فوتورزیست تخریب خواهد شد، حفرههایی در ساختار تراشه ایجاد خواهد شد و بازدهی فرآیند کاهش خواهد یافت. ما این لامپ را طوری طراحی کردهایم که فرآیند بستهبندی تراشهها در هر شیفت، به خوبی انجام شود.
آنچه واقعاً مورد نیاز است، کنترلی است که در شرایط واقعی کارخانه نیز کارآمد باشد، نه فقط روی کاغذ. این لامپ، یکنواختی دمایی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند؛ همچنین قابلیت تکرار پارامترهای دمایی آن آنقدر خوب است که فرآیندهای گرمایشی به درستی انجام شوند، بدون هیچ انحرافی. این لامپ در اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ کار میکند و ذرات بسیار کمی تولید میکند؛ بنابراین تعداد ذرات در طول فرآیندهای لیتوگرافی و بستهبندی در محدوده مشخصی باقی میماند. پروفایل دمایی این لامپ در تمام ساعات روز قابل تکرار است؛ این امر باعث استقرار عملکرد تراشهها در هر چرخه میشود و به جلوگیری از توقفات غیرمنتظره کمک میکند.
دلیل موفقیت این لامپ در این فرآیند این است که از بودجه گرمایی موجود استفاده میکند. کنترل دقیق دما، باعث کاهش کارهای تکراری میشود و فرآیندهای تشکیل راههای ارتباطی و بستهبندی تراشهها را در محدوده مشخصی نگه میدارد؛ همچنین زمان لازم برای فرآیندهای آزمایشی را کاهش میدهد. شما میتوانید از انرژی کمتری برای اجرای این فرآیندها استفاده کنید، بدون اینکه عملکرد تراشهها کاهش یابد؛ همچنین عمر این لامپ آنقدر طولانی است که بتوان از آن برای انجام فرآیندهای بزرگ استفاده کرد، بدون نیاز به تعویض مداوم آن. نتیجه این امر، بازدهی بالاتر در تولید تراشههای Mini LED است.
چند نکته مهم: این لامپ نیاز به برق و سیستم زمینگیری مناسب برای حفظ ثبات سیگنالهای الکترومغناطیسی دارد؛ همچنین باید فضای مورد نیاز برای نصب این لامپ را به خوبی برنامهریزی کرد. این لامپ با پلتفرمهای بستهبندی استاندارد سازگار است، اما باید سرعت حرکت لامپ و سیستمهای نوری آن را به گونهای تنظیم کرد که تطبیق و توزیع دما به خوبی انجام شود.
بودجه گرمایی و بودجه تمیزی را همراه با یکدیگر برنامهریزی کنید.