در کارخانههای تولید، به سرعت متوجه میشوید که حتی اختلاف دمایی ۱.۲ درجه سانتیگراد در ویفرهایی که از دستگاه خشککن خارج میشوند، میتواند باعث خروج آنها از محدوده دمایی مورد نیاز برای فرآیند لیتوگرافی شود. با کوچکتر شدن اندازه نوودلها، محدودیتهای مربوط به فرآیندهای خشککردن نیز کمتر میشود؛ این موضوع چیز عجیبی نیست. دستگاه خشککن باید گرما را به طور یکنواخت و سریع ارائه دهد، بدون اینکه ذراتی در فضا ایجاد شود.
موارد مهم از نظر فنی:
ما از لامپهای خشککن ویفر با امیترهای مادون قرمز استفاده میکنیم. این لامپها یک میدان حرارتی یکنواخت در سطح ویفر ایجاد میکنند. هدف، دستیابی به دقت دمایی ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سطح ویفر است. پاسخ سریع دستگاه به تغییرات دما، زمان فرآیند را کاهش میدهد؛ همچنین، بدنه لامپ برای استفاده در اتاقهای پاکیزه درجه ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ یعنی هیچ ذرهای در فضا ایجاد نمیشود. خروجی لامپ در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت، در محدوده ۱٪ ثابت میماند؛ بنابراین پروفایل خشککردن نیز ثابت باقی میماند.
چرا این روش در فرآیند پردازش رزیست عملکرد خوبی دارد؟
یکنواختی، عاملی است که باعث افزایش بازدهی تولید میشود. توزیع یکنواخت گرما، ابعاد خطوط روی ویفر را ثابت نگه میدارد؛ در نتیجه، نیاز به بازسازی کمتری وجود دارد. لامپ در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر میرسد؛ بنابراین، زمان فرآیند خشککردن کاهش مییابد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا فقط ویفر گرم میشود، نه کل اتاق. نتایج تولید در هر شیفت یکنواخت خواهد بود؛ همچنین، مقدار مواد خراب کمتر خواهد بود و هزینههای مربوط به مواد مصرفی نیز کاهش خواهد یافت.
چه چیزهایی برای دستیابی به نتایج خوب لازم است؟
نصب لامپ به معنای تطبیق آن با محیط اتاق و پاسخگویی کنترلر PID است. استفاده از بازتابندههای نامناسب یا منبع تغذیه با توان کم، باعث اختلال در یکنواختی میشود. باید یک خط کنترلی ۲۴ ولتی مخصوص برای حفظ دمای مورد نظر در نظر گرفته شود. همچنین، باید از مواد مناسب برای جایگذاری لامپ استفاده شود؛ زیرا برخی مواد شیمیایی میتوانند باعث تخریب لامپ شوند. پس از تنظیم و کالیبراسیون، نیاز به نگهداری کمی وجود دارد؛ اما محدودیت تنظیم، در حدود ۰.۲ میلیمتر است.