Arrêtez de gaspiller votre énergie infrarouge
Soient honnêtes : gaspiller de l’énergie, c’est en fait une faille de conception. Dans le traitement des wafers, on constate ce phénomène tout le temps. La plupart des gens utilisent des réflecteurs en aluminium standard, mais le problème, c’est que beaucoup d’énergie infrarouge s’échappe ou est absorbée par le boîtier lui-même. C’est donc du gaspillage.
C’est pourquoi nous utilisons des réflecteurs revêtus d’or. L’or est bien plus efficace pour renvoyer la lumière infrarouge. Ainsi, au lieu que la structure de la machine se réchauffe inutilement, l’énergie est dirigée là où elle doit aller : sur le wafer.
Pourquoi l’or est préférable à l’aluminium poli
La plupart des ateliers utilisent de l’aluminium poli, car c’est la norme. Ça fonctionne, mais cela devient moins efficace lorsque la longueur d’onde augmente.
L’or, lui, est différent. Il capte une proportion bien plus élevée de l’énergie infrarouge émise par la lampe. En recouvrant le réflecteur d’or, on peut concentrer cette énergie en un faisceau bien ciblé. On obtient ainsi une densité thermique bien plus élevée sur la cible visée, sans avoir besoin d’augmenter la puissance de la lampe et de solliciter davantage le système.
Un mot sur la chaleur
Le problème, c’est que lorsque l’énergie est concentrée de cette manière, la température de la lampe augmente fortement. Il faut donc s’assurer que le système de refroidissement puisse gérer cette chaleur qui ne passe pas par l’ouverture de la lampe. Si le flux d’air est insuffisant, les filaments risquent de brûler bien plus tôt que prévu. Pour maintenir une température stable sur tout le wafer, on utilise généralement des lampes en quartz à haute puissance. Cela permet de éviter que la température ne devienne trop élevée.
Comment mettre en place ce système
La bonne nouvelle ? Remplacer ces réflecteurs est assez simple. Il suffit généralement de remplacer simplement le réflecteur existant. Il n’y a pas besoin de modifier le câblage ou de démonter l’alimentation électrique.
Mais – et c’est important – il faut recalibrer les contrôleurs PID. Comme le revêtement en or est beaucoup plus efficace pour transférer la chaleur, les paramètres de régulation actuels risquent de ne plus être adaptés. Il faudra donc diminuer légèrement la puissance afin de ne pas endommager accidentellement le substrat.