Sur le plancher de fabrication, l’humidité piégée—dans le photoresist ou à l’interface de la plaquette—perturbe le contrôle thermique. Elle disperse la chaleur, et vos profils de pré-cuisson douce et de cuisson dure dévient de leur cible. Les conséquences sont des problèmes de fixation, des résidus et des variations de largeur de ligne qui réduisent le rendement. Nous avons conçu une lampe d’élimination de l’humidité des plaquettes pour éliminer cette variable de l’équation.
Ce qui compte réellement en interne
Nous utilisons un émetteur halogène à ondes courtes enfermé dans une enveloppe en quartz, associé à un pyromètre en boucle fermée. Le résultat est une uniformité thermique au niveau de la plaquette dans ±0,1 °C, avec une réponse en moins d’une seconde, ce qui maintient une rampe précise tout au long de la courbe de cuisson. Le module s’intègre dans des salles blanches Class 1–100 et maintient la stabilité du nombre de particules par conception : l’assemblage de la lampe ne génère aucune particule, et la doublure de la chambre est inerte et non émissive. La densité de puissance est ajustée au budget thermique des nœuds avancés, et la répétabilité est assurée par une table d’émissivité calibrée pour chaque empilement de films.
Pourquoi cela importe en lithographie et packaging
En lithographie, la pré-cuisson douce favorise l’évaporation des solvants et détermine la contrainte du film ; la cuisson dure stabilise l’interface du masque avant la gravure. En éliminant l’humidité en amont, les deux cuissons restent conformes aux spécifications. Cela réduit les retouches et améliore l’uniformité des dimensions critiques.
On obtient également des cycles de dépôt-cuisson plus rapides sans dépassement thermique, ainsi qu’une consommation d’énergie par lot réduite grâce à un couplage NIR efficace. Les résultats sont stables d’un lot à l’autre. Sur les lignes de packaging, cela sèche les surfaces préparatoires à l’underfill, réduisant les vides et améliorant l’adhérence.
Les détails pratiques à prévoir
L’installation nécessite un conduit d’évacuation dédié et une alimentation électrique propre pour limiter la dérive thermique à moins de 0,2 °C/heure. La tête de lampe s’interface avec les ports de piste standard, mais l’encombrement ne convient pas à certaines cellules de dépôt-cuisson anciennes sans un adaptateur mécanique mineur.
Effectuez une courte qualification pour cartographier l’émissivité par empilement et régler le décalage du pyromètre. Une fois calibré, le processus reste stable et la lampe fonctionne 24/7 avec une dégradation minimale de la puissance.