בתהליך הייצור של לוחות LCD, סטיות בטמפרטורה אינן עניין אקדמי – זו בעיה שעלולה לגרום לתוצאות לא איכותיות. במפעלי ייצור לוחות LCD, נקודת חום בודדת במהלך תהליך החימום עלולה לפגוע באיכות הלוח, ואילו אזורים קרים עלולים לגרום לחימום לא מספיק של הקצוות. אנו יוצרים גופי חימום באינפרא-אדום כדי למנוע סטיות אלו.
מה באמת חשוב
אנו משתמשים בגופי חימום באינפרא-אדום בעלי תגובה מהירה, כך שהחום מופנה לכיוון הרצוי במהירות. כך נשמרת אחידות בטמפרטורה ברמה של ±0.1°C על פני השטח הפעיל של הלוח. בקרה במעגל סגור מבטיחה שהטמפרטורה תישאר יציבה, כך שהתהליכים של חימום יהיו אחידים ממחזור למחזור. גופי החימום מתאימים לשימוש בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, בזכות השימוש בחומרים שאינם פולטים חלקיקים ועיצובם שאינו יוצר חלקיקים.
זה עובד בדיוק במקומות החשובים – בתהליכי ליתוגרפיה ועיבוד הפוטורזיסט. הטמפרטורה חייבת להיות מדויקת מאוד. גופי החימום מאפשרים להגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות, כך שזמן העיבוד קוצר מבלי לפגוע בדיוק. אחידות גבוהה פירושה פחות פגמים בקצוות ותשואה טובה יותר. עוד יתרון הוא שהחום מגיע ישירות למטרה, ולא לאוויר בחדר.
כמה הערות פרקטיות: גופי החימום חייבים להיות ממוקמים במקום שבו יש ראייה ישירה אליהם, וכן חייבת להיות אספקת חשמל יציבה – תנודות במתח עלולות לפגוע באחידות. יש לוודא שיש מרווחים מספיקים לאורך מסלול הלוח. לאחר ההתאמה, המערכת יכולה לפעול לאורך זמן ללא צורך בתחזוקה, אך ההתאמה והניקיון חייבים להיות חלק מהתחזוקה השגרתית.