השטח במפעל, לחות כלואה—בפוטורזיסט או בממשק עם הוופר—משבשת את בקרת החום. היא מפזרת חום, ופרופילי האפייה הרכה והקשה מתרחקים מהיעד. התוצאה היא הצטברות חומר, זיהום, וסטיות ברוחב הקווים שפוגעות בתפוקה. בנינו מנורה להסרת לחות מהוופר כדי להסיר את המשתנה הזה מהמשוואה.
מה שבאמת חשוב מתחת למכסה
אנחנו מפעילים מפיץ קצרת גל הלוגן בתוך מעטפת קוורץ, בשילוב פיירומטר במעגל סגור. התוצאה היא אחידות תרמית ברמת הוופר בטווח של ±0.1°C, והתגובה מתרחשת בתוך פחות משנייה, כך שעקומת האפייה נשארת מדויקת לאורך כל התהליך. המודול מותקן בחללי Class 1–100 ומייצב את ספירת החלקיקים לפי תכנון: אסופת המנורה אינה מייצרת חלקיקים, והציפוי הפנימי של התא אינו פעיל ואינו פולט גזים. צפיפות ההספק מכוילת לתקציב התרמי של צמתים מתקדמים, והחזרתיות מבוססת על טבלת פליטת קרינה מכוילת לפי ערימת הסרט.
מדוע זה חשוב בליתוגרפיה ואריזה
בליתוגרפיה, אפיית הרכה מניעה אידוי ממס וקובעת את הלחץ במשטח הסרט; אפיית הקשה מייצבת את ממשק המסכה לפני ההחדרה. הסרת הלחות מראש שומרת על שני תהליכי האפייה מדויקים. התוצאה היא פחות תיקונים ושיפור באחידות הממדים הקריטיים.
כמו כן, מתקבלים מחזורי ציפוי-אפייה מהירים יותר ללא חריגה תרמית, וצריכת אנרגיה נמוכה יותר ללוט בזכות קישור NIR יעיל. התוצאות נשמרות בין לוט ללוט. בקווי האריזה, המנורה מייבשת משטחי הכנת underfill, מפחיתה כיסי אוויר ומשפרת את ההדבקה.
הפרטים המעשים לתכנון
התקנה דורשת נתיב אוורור ייעודי ומקור חשמל נקי לשמירה על תזוזת טמפרטורה מתחת ל-0.2°C לשעה. ראש המנורה מתחבר לנקודות תקן של הקו, אך המידות אינן מתאימות לחלק מתאי הציפוי-אפייה הישנים ללא מתאם מכני קטן.
מבצעים הסמכה קצרה למיפוי פליטת הקרינה לפי ערימה ולהגדרת ההתאמה של הפיירומטר. לאחר כיול, התהליך נשאר יציב, והמנורה פועלת 24/7 עם דעיכה מינימלית בתפוקה.