वास्तव में, तापमान में होने वाले उतार-चढ़ाव कोई सैद्धांतिक मुद्दा नहीं है… यह तो गंभीर समस्या है। एलसीडी पैनल निर्माण में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान होने वाला थोड़ा सा तापमान-उतार-चढ़ाव भी पैनल की गुणवत्ता को प्रभावित कर सकता है; जबकि ठंडे क्षेत्रों में पैनल के किनारे ठीक से सूख नहीं पाते। हमने ऐसे इन्फ्रारेड हीटर बनाए हैं, ताकि ऐसी समस्याओं को शुरुआत में ही दूर किया जा सके।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम तेज़ प्रतिक्रिया वाले क्वार्ट्ज तत्वों का उपयोग करके शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड ऊर्जा का उपयोग करते हैं… इससे ऊष्मा केवल आवश्यक स्थानों पर ही पहुँचती है। इससे वेफर की सतह पर तापमान में ±0.1°C की समानता बनी रहती है। क्लोज्ड-लूप नियंत्रण के कारण तापमान में होने वाले उतार-चढ़ाव 0.1°C से कम ही रहते हैं… इससे “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में स्थिरता बनी रहती है। ये हीटर क्लीनरूम वातावरणों हेतु उपयुक्त हैं… क्योंकि इनमें कम गैसें उत्सर्जित होती हैं, एवं ऐसी संरचना है जिससे कोई कण उत्पन्न नहीं होता।
यह क्यों कारगर है?
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में तापमान का नियंत्रण बहुत महत्वपूर्ण है। ये हीटर वेफर को तेज़ी से गर्म कर देते हैं… इससे प्रक्रिया में लगने वाला समय कम हो जाता है, एवं गुणवत्ता में कोई कमी नहीं आती। अधिक समानता के कारण किनारों पर दोष कम हो जाते हैं, एवं उत्पादन दक्षता बढ़ जाती है। क्लीनरूम-योग्य संरचना के कारण कणों की संख्या कम रहती है… जिससे पैनल की गुणवत्ता बनी रहती है। साथ ही, ऊर्जा की भी बचत होती है… क्योंकि ऊष्मा सीधे लक्षित स्थान पर ही पहुँचती है।
कुछ व्यावहारिक बातें:
इन हीटरों को सीधे लक्षित स्थान पर ही रखना आवश्यक है… वोल्टेज में होने वाले उतार-चढ़ाव से ऊष्मा में असमानता आ सकती है। स्थिर वोल्टेज स्रोत का उपयोग आवश्यक है… एवं वेफर के मार्ग में कोई बाधा न हो, इसका ध्यान रखना आवश्यक है। एक बार सही तरीके से स्थापित हो जाने के बाद, इस सिस्टम को लंबे समय तक चलाया जा सकता है… लेकिन समय-समय पर इसकी जाँच एवं सफाई आवश्यक है।