Out on the fab floor, trapped moisture—in the photoresist or at the wafer interface—throws a wrench into thermal control. It scatters heat, and your soft bake and hard bake profiles drift off target. The fallout is footing, scumming, and line-width excursions that bleed yield. We built a wafer moisture removal lamp to pull that variable out of the equation.
What actually matters under the hood
हम एक क्वार्ट्ज एनवेलप के अंदर शॉर्ट-वेव हैलोजन एमिटर चलाते हैं, जिसे क्लोज्ड-लूप पाइरोमीटर के साथ जोड़ा गया है। परिणामस्वरूप, वेफर-स्तर पर ±0.1°C के भीतर थर्मल यूनिफॉर्मिटी मिलती है, और प्रतिक्रिया सब-सेकंड होती है, जिससे बेक कर्व के दौरान तापमान रैम्प सटीक रहता है। यह मॉड्यूल क्लास 1–100 क्लीनरूम में फिट होता है और डिजाइन के अनुसार पार्टिकल काउंट स्थिर रखता है: लैंप असेंबली से कोई पार्टिकल उत्पन्न नहीं होता, और चैंबर लाइनर निष्क्रिय तथा नॉन-आउटगैसिंग होता है। पावर डेंसिटी को एडवांस्ड नोड्स के थर्मल बजट के अनुसार समायोजित किया गया है, और रिपीटेबिलिटी एक कैलिब्रेटेड इमिसिविटी टेबल द्वारा प्रत्येक फिल्म स्टैक के लिए सुनिश्चित की जाती है।
Why this matters in lithography and packaging
लिथोग्राफी में, सॉफ्ट बेक सॉल्वेंट के एवापोरेशन को नियंत्रित करता है और फिल्म तनाव सेट करता है; हार्ड बेक मास्क इंटरफेस को एचिंग से पहले स्थिर करता है। अगर आप नमी को अपस्ट्रीम में निकाल देते हैं, तो दोनों बेक प्रोफाइल लक्षित रहते हैं। इससे रीवर्क कम होते हैं और क्रिटिकल डाइमेंशन की यूनिफॉर्मिटी बेहतर होती है।
आप कोट-बेक साइकिल भी तेज़ मिलती है बिना थर्मल ओवरशूट के, और एनआईआर कुplिंग की दक्षता के कारण प्रति लॉट ऊर्जा कम लगती है। लॉट टू लॉट परिणाम स्थिर रहते हैं। पैकेजिंग लाइनों में, यह अंडरफिल प्रेप सतहों को सुखाता है, जिससे voids कम होते हैं और एडहेशन बेहतर होती है।
The practical details you need to plan for
इंस्टॉलेशन के लिए एक समर्पित एग्जॉस्ट पाथ और एक क्लीन पावर फीड की आवश्यकता होती है ताकि तापमान में 0.2°C/घंटा से अधिक डिफ्ट न हो। लैंप हेड मानक ट्रैक पोर्ट्स से इंटरफेस करता है, लेकिन इसका फुटप्रिंट कुछ लेगेसी कोट-बेक सेल्स में फिट नहीं होगा बिना एक छोटे मैकेनिकल एडाप्टर के।
इमिसिविटी को प्रति स्टैक मैप करने और पाइरोमीटर ऑफसेट सेट करने के लिए एक छोटा क्वालिफिकेशन रन करें। एक बार कैलिब्रेट हो जाने के बाद, प्रोसेस स्थिर रहता है, और लैंप 24/7 न्यूनतम आउटपुट डिके के साथ चलता रहता है।