Berhentilah membuang-buang energi IR yang Anda miliki
Sejujurnya, membuang-buang energi merupakan kelemahan dalam desain peralatan tersebut. Dalam proses pemrosesan wafer, hal ini sering terjadi. Kebanyakan orang menggunakan reflektor berbahan aluminium biasa, tetapi masalahnya adalah energi IR tersebut banyak yang hilang atau diserap oleh bagian penutup peralatan. Itu merupakan pemborosan energi.
Itulah mengapa kita menggunakan reflektor yang dilapisi emas. Emas lebih efektif dalam memantulkan cahaya inframerah. Dengan demikian, energi tersebut akan sampai ke wafer, bukan membuat bagian rangka mesin menjadi panas secara tidak perlu.
Mengapa emas lebih unggul daripada aluminium yang telah dipolish
Kebanyakan pabrik menggunakan aluminium yang telah dipolish karena itu merupakan standar umum. Meskipun cara ini efektif, tetapi efektivitasnya menurun ketika panjang gelombang cahaya semakin panjang.
Emas berbeda. Emas mampu menangkap persentase energi IR yang lebih tinggi. Dengan melapisi reflektor dengan emas, kita dapat mengarahkan energi tersebut ke titik yang dituju. Dengan demikian, densitas panas pada target akan meningkat, tanpa perlu meningkatkan daya yang digunakan dan memberikan beban berlebih pada sistem.
Masalah terkait panas
Masalahnya adalah, ketika energi dikonsentrasikan sedemikian rupa, suhu lampu akan naik drastis. Anda perlu memastikan bahwa sistem pendinginan mampu menangani panas yang tidak dapat keluar melalui pori-pori reflektor. Jika aliran udara tidak cukup, filamen lampu akan cepat rusak. Untuk menjaga stabilitas suhu di seluruh permukaan wafer, kita biasanya menggunakan lampu kuarsa berdaya tinggi bersama reflektor ini. Hal ini akan membantu menjaga suhu agar tidak menjadi terlalu tinggi.
Cara menggunakannya
Berita baiknya adalah, mengganti reflektor ini sangat mudah. Biasanya hanya perlu mengganti komponen reflektor saja. Tidak perlu repot-repot merombak kabel atau sumber daya listrik.
Namun, hal yang penting adalah merekalibrasi kembali controller PID Anda. Karena lapisan emas jauh lebih efektif dalam mentransfer panas, maka pengaturan parameter lama kemungkinan akan tidak akurat lagi. Anda perlu menyesuaikan daya yang digunakan agar substrat tidak rusak.