Mengapa Kami Beralih ke Metode Pengeringan dengan Sinar Infra Merah
Saat menjalankan proses produksi, tekanan untuk tetap mematuhi standar lingkungan yang ramah lingkungan dan bebas timbal bukan sekadar hal yang perlu dipenuhi demi kelancaran audit saja—tetapi juga merupakan langkah penting untuk membuat proses produksi menjadi lebih bersih. Selama ini, kami mengandalkan oven konveksi berukuran besar. Namun, masalahnya adalah: memanaskan udara dalam volume yang besar merupakan pemborosan energi. Selain itu, aliran udara tersebut justru menjadi sarana penyebaran debu dan partikel kotoran, yang tentu saja tidak diinginkan di sekitar wafer.
Itulah mengapa kami beralih ke metode pengeringan menggunakan sinar inframerah (IR). Dengan metode ini, kita tidak perlu menggunakan udara sama sekali.
Intinya adalah transfer energi.
Alih-alih memanaskan seluruh ruangan, lampu IR mengirim radiasi elektromagnetik langsung ke wafer. Bayangkanlah seperti berdiri di bawah sinar matahari pada hari yang dingin; Anda akan merasakan panasnya secara langsung, meskipun suhu udara di sekitar Anda sangat rendah. Energi tersebut digunakan untuk membuat molekul-molekul dalam bahan fotoresist atau pelarut bergetar. Karena cara kerjanya yang efisien, kita tidak perlu menggunakan elemen pemanas berukuran besar yang harus beroperasi selama berjam-jam agar mencapai suhu tertentu. Prosesnya berlangsung sangat cepat. Hal ini tentu saja mengurangi konsumsi energi untuk setiap wafer yang diproses.
Memastikan kebersihan dan kesesuaian standar lingkungan.
Memenuhi standar lingkungan menjadi lebih mudah ketika kita menghilangkan faktor-faktor yang merusak lingkungan. Sistem IR bekerja menggunakan listrik. Tidak ada gas hasil pembakaran, dan tidak ada paduan logam berbasis timbal dalam elemen pemanas—tidak ada hal yang kotor.
Kami menyebutnya proses “pengeringan kering”. Kita tidak perlu menggunakan campuran bahan kimia untuk mengalirkan panas dari titik A ke titik B. Prosesnya sederhana saja.
Bagian yang sulit: kompromi teknis.
Namun, proses ini bukanlah sesuatu yang bisa dilakukan begitu saja. Jika intensitas cahaya terlalu tinggi, permukaan wafer akan kering terlalu cepat, sehingga pelarut akan tertinggal di bawahnya. Hal ini akan menyebabkan munculnya gelembung atau kerusakan pada permukaan wafer, yang tentu saja sangat merugikan proses produksi.
Kunci utamanya terletak pada panjang gelombang cahaya. Gunakan panjang gelombang pendek jika Anda membutuhkan kecepatan yang tinggi, dan panjang gelombang sedang jika Anda membutuhkan panas yang dapat menembus lebih dalam ke dalam bahan.
Tips tambahan: jangan mengabaikan fungsi kipas pendingin untuk lapisan pelindung lampu. Jika lapisan tersebut menjadi terlalu panas, lampu akan cepat rusak.
Yang terbaik adalah dengan mengganti oven berukuran besar tersebut dengan saluran pengeringan yang kompak. Dengan cara ini, kita bisa mendapatkan sertifikat “ramah lingkungan”, menghemat ruang, dan menjaga kecepatan proses produksi tetap optimal.