PECVD加熱用赤外線エミッタ

製造現場において、PECVDチャンバーの温度は単なる背景設定ではありません。それは、プロセスが成功するか失敗するかを決定する重要な要素です。サブセプターの温度が1℃だけ変動しても、フィルムの応力やエッチング速度にすぐに影響が現れます。もし赤外線エミッターが適切な性能を発揮できなければ、もはや仕様を...