Di bilik pengeringan wafer, perubahan suhu semasa proses pengeringan bukanlah masalah yang boleh diabaikan. Perubahan ini memberi kesan besar terhadap kualiti wafer yang dihasilkan. Tempoh masa pengeringan yang diperlukan sudah pun ditetapkan dengan ketat, dan jika suhu di seluruh permukaan wafer tidak seragam, ia akan menyebabkan ralat dimensi pada wafer tersebut setelah proses pendedahan selesai. Kami mencipta mentol lampu pengeringan ini untuk mengelakkan perubahan suhu tersebut.
Apa yang penting dalam reka bentuknya
Kami menggunakan elemen halogen berpanjang gelombang pendek yang diletakkan dalam kelopak kuarza. Elemen ini dipilih kerana kemampuannya untuk memberikan respons yang cepat serta keluaran spektrum yang stabil. Mentol ini mampu mengekalkan suhu yang seragam sekitar ±0.1°C di seluruh permukaan wafer, dengan toleransi ±0.5°C. Keluaran cahaya dari mentol ini disesuaikan agar sesuai dengan panjang gelombang 300–400 nm, supaya proses penguapan pelarut dapat berjalan secara konsisten tanpa berlaku peningkatan suhu yang berlebihan. Mentol ini boleh digunakan dalam soket standard, dengan voltan dan kuasa yang telah ditetapkan. Selain itu, ia juga sesuai digunakan dalam persekitaran makmal bersih dari kelas 1 hingga kelas 100. Reka bentuk mentol yang kedap dan bahan-bahan yang digunakan membantu mengurangkan penghasilan zarah-zarah kecil, sehingga jumlah zarah tetap stabil sepanjang proses pengeringan.
Inilah sebabnya mengapa mentol ini sesuai digunakan dalam proses litografi. Langkah pengeringan ini merupakan asas untuk mengawal lebar garisan dan kepadatan kecacatan pada wafer. Dengan menggunakan mentol ini, suhu semasa proses pengeringan akan kekal stabil, sehingga profil pengeringan yang dihasilkan akan memenuhi spesifikasi yang ditetapkan.
Kelebihannya sangat praktikal. Jumlah bahan yang perlu dibuang berkurangan, distribusi dimensi kritikal menjadi lebih tepat, dan masa yang diperlukan untuk proses pengeringan juga dapat diramalkan dengan lebih baik. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana proses pengubahsuaian tenaga yang efisien. Mentol ini memiliki jangka hayat melebihi 5,000 jam, dengan penurunan keluaran cahaya kurang dari 5%, yang seterusnya mengurangkan keperluan untuk menggunakan alat ganti.
Beberapa nota tambahan
Semasa pemasangan, perlu memastikan bahawa mentol tersebut sesuai dengan geometri reflektor alat tersebut serta sistem kawalan suhunya. Perlu juga memeriksa nilai emisiviti chuck serta lokasi sensor – jika tidak, risiko berlakunya masalah akan meningkat. Mentol ini mempunyai julat suhu operasi yang tertentu. Jika suhu melebihi julat tersebut, risiko penghasilan zarah-zarah kecil akan meningkat, dan jangka hayat mentol akan berkurangan. Gunakan alat yang sesuai, dan pastikan mentol tersebut diproses dengan cara yang bersih agar tidak berlaku pencemaran.