Mengapa Kita Menggantikan Penggunaan Udara Panas Dengan Sinar Infra Merah di Bilik Bersih
Dalam proses pemprosesan semikonduktor, segalanya berkisar pada satu perkara sahaja: masa. Jika anda masih bergantung pada udara panas untuk tujuan pengeringan atau penyingkiran gas berbahaya, pasti anda pernah merasa frustrasi kerana ketuhar tersebut tidak mampu menyelesaikan tugasnya dengan cepat. Itulah sebabnya ramai yang beralih kepada penggunaan haba inframerah.
Perbezaannya sangat ketara. Ketuhar tradisional bekerja dengan memanaskan udara terlebih dahulu, kemudian harapkan udara tersebut dapat memanaskan bahagian yang perlu diproses. Ini merupakan proses yang lambat. Terdapat juga masalah “kelewatan haba”, di mana haba perlu melalui lapisan udara sebelum dapat sampai ke permukaan bahan yang diproses. Ia sama seperti cuba memanaskan bilik menggunakan pemanas udara—anda perlu menunggu lama agar udara menjadi panas.
Sinar infra merah pula berbeza. Ia tidak memerlukan udara untuk memanaskan bahan tersebut. Sinar ini langsung mengenai bahan yang perlu diproses. Di bilik bersih, ini merupakan kelebihan yang besar. Anda tidak perlu menggunakan udara panas yang kuat untuk memanaskan bahan tersebut, sekali gus mengurangkan risiko kontaminasi. Selain itu, anda juga tidak perlu menunggu ketuhar mencapai suhu yang ditetapkan. Cukup hidupkan saja ketuhar tersebut dan mulakan proses pemprosesan.
Kelajuan merupakan kelebihan utama penggunaan sinar infra merah. Masa yang diperlukan untuk memproses bahan dapat dikurangkan sebanyak 50% hingga 80%. Oleh kerana bahan tersebut menyerap haba secara langsung, suhu yang diinginkan dapat dicapai dengan cepat. Ini membolehkan lebih banyak bahan diproses dalam masa yang singkat, tanpa perlu membina struktur tambahan untuk memberi ruang kepada peralatan lain.
Namun, sinar infra merah bukanlah penyelesaian yang sempurna untuk segala situasi. Ia hanya berkesan jika lampu tersebut dapat “melihat” bahagian yang perlu diproses. Jika bahan tersebut mempunyai bentuk yang kompleks atau ada bahagian yang tersembunyi, sinar tersebut tidak akan dapat mencapai semua bahagian tersebut. Untuk mengatasi masalah ini, anda perlu menggunakan cara yang kreatif—misalnya menggunakan sistem yang membolehkan sinar tersebut mencapai setiap sudut. Perlu diingat juga bahawa sinar infra merah sangat kuat. Oleh itu, sensor yang digunakan perlu disetel dengan tepat. Jika sensor tersebut terlalu lambat, suhu yang dihasilkan mungkin melebihi had yang dibenarkan, sehingga merosakkan bahan yang diproses.