Mengelakkan Pemanas Wafer daripada Menyebabkan Kerosakan di Makmal Anda
Sejujurnya, memanaskan wafer di kawasan pembersihan kimia merupakan tugas yang sangat berisiko. Apabila bekerja dengan bahan-bahan yang mudah terbakar atau meletup, lampu inframerah biasa bukan sahaja merupakan alat yang tidak efektif, tetapi juga boleh menjadi sumber bahaya. Sebuah percikan kecil atau titik panas pada komponen pemanas saja sudah cukup untuk mencetuskan kebakaran. Ini merupakan situasi yang menakutkan dan sering membuat para jurutera gelisah.
Kami mengatasi masalah ini dengan menggunakan sistem pemanasan yang tertutup sepenuhnya. Kami membungkus semua komponen pemanas dalam kotak khas yang kedap. Rahsianya terletak pada pengasingan haba. Kami tidak sekadar melapisi permukaan lampu tersebut, tetapi juga memasukkan komponen pemanas ke dalam kotak kaca atau seramik berkualiti tinggi. Kotak tersebut kemudian dibalut lagi dengan lapisan pelindung yang mampu menahan kesan bahan kimia yang agresif. Dengan cara ini, bahan organik volatil yang ada di sekitar makmal tidak akan menyentuh bahagian pemanas yang aktif. Ia merupakan cara yang mudah, tetapi merupakan satu-satunya cara untuk memastikan operasi makmal berjalan lancar.
Mengimbangi suhu
Cabaran utamanya adalah memastikan bahawa kotak pelindung tersebut tidak merosakkan lampu itu sendiri. Kami merancang kotak tersebut sedemikian rupa agar haba dapat dialirkan jauh dari komponen pemanas, sementara tenaga inframerah dapat disalurkan tepat ke tempat yang diperlukan, iaitu wafer. Dengan cara ini, suhu akan kekal stabil. Jika anda melakukan proses etching atau pengeringan kimia, anda perlu memastikan suhu yang digunakan adalah seragam. Jika tidak, silikon yang mahal akan terbuang sia-sia.
Ada trade-off yang perlu dihadapi
Semua langkah perlindungan ini tentunya akan menambah berat sistem tersebut. Kerana sistem ini mempunyai jisim yang lebih besar, ia akan memiliki inersia termal yang lebih tinggi. Anda tidak akan mendapatkan reaksi segera seperti lampu biasa. Ada sedikit kelewatan. Anda perlu menyesuaikan pengatur PID untuk mengatasi kelewatan ini. Namun, ini merupakan harga yang harus dibayar demi mengelakkan kegagalan yang serius.
Cara menggunakannya
Kami mereka bentuk alat ini agar boleh digunakan sebagai pengganti alat yang sedia ada. Ia sesuai digunakan bersama-sama dengan sistem yang sudah ada. Kami menggunakan kabel yang kuat serta lapisan pelindung yang ketat agar gas tidak dapat masuk melalui lubang kabel. Jika lantai makmal dipenuhi dengan bahan kimia yang agresif, ini merupakan cara terbaik untuk melindungi makmal tersebut. Ini merupakan satu-satunya cara untuk memastikan operasi makmal berjalan lancar tanpa membahayakan seluruh bangunan.