Hentikan proses pemanasan alat tersebut, dan mulakan pemanasan wafer saja. Lampu inframerah biasa sebenarnya hanyalah mentol lampu biasa – ia...

Dalam proses pemeriksaan, kestabilan suhu diukur dalam darjah, bukan minit. Sedikit saja perubahan suhu semasa proses pembakaran bahan fotoresist...