Voorkom dat je IR-lampen je wafers beschadigen
In een semiconductoorapparaat met hoge belasting kan één kapotte lamp al een hele lading wafers in slechts enkele seconden vernietigen. Dat is een nachtmerriescenario. Als de kwartskoker barst, komen er glasscherven en andere deeltjes terecht op de ondergronden.
Daarom gebruiken we keramische eindkappen. Het is een simpele oplossing, maar het zorgt ervoor dat alles stabiel blijft – en, nog belangrijker, schoon.
Omgaan met de hitte
IR-emitters worden ontzettend heet. Op de plek waar ze aansluiten op de elektrische verbindingen, is de thermische uitzetting enorm. Als je gewone metalen onderdelen gebruikt, veroorzaak je problemen.
Wij hebben deze vervangen door keramische kappen van hoge zuiverheid. Denk erbij aan als een soort thermisch kussen. Ze zitten tussen de kwartsbuis en de elektrische verbindingen en vangen de mechanische spanningen op die ontstaan tijdens het opwarmen en afkoelen. Hierdoor breekt de kwartsbuis niet wanneer er veel vermogen wordt gebruikt.
Het voorkomen van vuil
Het echte probleem met metalen kappen is dat ze oxideren. Na verloop van tijd breken ze af. Hierdoor komt er metaaldust in de schone ruimte terecht, wat je absoluut wilt voorkomen.
Keramiek doet dit niet. Het is chemisch inert. En als de buis toch kapotgaat? De keramische kap houdt het filament op zijn plaats. Hierdoor wordt voorkomen dat er schade wordt veroorzaakt aan het oppervlak van de wafers. Het vuil blijft dan op één plek, zodat je het gemakkelijk kunt opruimen zonder dat de hele productie wordt verstoord.
Enkele punten om rekening mee te houden
Het is natuurlijk niet allemaal perfect. Er zijn ook nadelen. Keramische kappen zijn groter dan de standaard metalen kappen. Ze nemen meer ruimte in beslag. Voordat je ze installeert, moet je zeker controleren of er voldoende ruimte is.
Als de bevestigingspunten te strak zitten, zal er druk op de keramische kappen komen te staan. Omdat het keramiek is, zal het niet buigen – maar wel breken. Geef ze dus wat ruimte.
Profiétip
Wij raden deze kappen aan voor elke omgeving waar zelfs een klein beetje vervuiling al een groot probleem kan zijn. Door een keramische interface tussen de stroombron en de kwartsbuis te gebruiken, neemt het risico op catastrofale fouten aanzienlijk af.
Zorg er alleen voor dat ze worden aangesloten op een stabiele stroombron. Spanningspieken kunnen schade toebrengen aan de kappen. Een constante stroom zorgt ervoor dat alles goed werkt.