Zorgen dat je lampen voor het drogen van wafers niet exploderen
Wanneer je wafers droogt, heb je een perfect thermisch profiel nodig. Simpel gezegd. Maar hier is het probleem: als er een elektrische lek is in een lamp of als de isolatie het begeeft, raak je niet alleen één lamp kwijt. Je hebt dan te maken met een batch wafels die verpest zijn, en ook het besturingssysteem is beschadigd. Dat kan erg duur uitpakken.
Om dit te voorkomen, letten we goed op twee zaken: de diëlektrische sterkte en de isolatieweerstand.
De “stresstest”
We gokken niet. We laten elke lamp door een 100% onderzoek op weerstand tegen hoge spanningen gaan.
In feite geven we de lamp een hoge spanning – veel hoger dan wat de lamp in de machine zal krijgen – tussen de actieve delen en de geïsoleerde behuizing. Waarom? Omdat, als er een klein barstje in het kwarts zit of een zwak punt in de isolatie, de stroom erdoorheen kan stromen.
We noemen dit een kortsluiting. We willen liever dat dit in onze fabriek gebeurt, in plaats van dat jouw machine middenin een productieproces kortsluit.
Omgaan met “lekken”
Een lamp kan het misschien overleven als er een hoge spanning op wordt uitgeoefend, maar er kan nog steeds een lek zijn. Het is subtiel, maar gevaarlijk.
We meten de isolatieweerstand om er zeker van te zijn dat de stroom precies daar blijft waar hij hoort te zijn. In deze droogstations zit alles strak op zijn plek. Als de weerstand zelfs maar iets afneemt, ontstaan er “parasitaire stromen” die de gevoelige elektronica kunnen beschadigen.
Wij zorgen ervoor dat de isolatie deze hoge waarden kan behouden, zelfs wanneer het erg heet wordt.
De strijd tegen de hitte
Dit is de echte uitdaging: lampen met hoge vermogens genereren enorm veel hitte.
Het is een constante strijd. Naarmate de temperatuur stijgt, beginnen sommige isolatiematerialen hun eigenschappen te verliezen. Hoe warmer de lamp wordt om het perfecte resultaat te bereiken, des te meer moet de isolatie werken om stabiel te blijven.
Als je het vermogen van de lamp tot het uiterste gebruikt, moet het koelsysteem optimaal werken. Als de behuizing te heet wordt, verslechtert de isolatie na verloop van tijd. Uiteindelijk kan er een kortsluiting optreden.
We testen onze lampen tot het uiterste. Op deze manier heb je een veiligheidsbuffer en kun je ’s nachts gerust slapen.