Op de productielijn is temperatuurverschil geen academisch probleem – het heeft direct invloed op de kwaliteit van het product. In een fabriek voor LCD-panelen kan één hotspot tijdens het verhitten van de fotoresist ertoe leiden dat de afbeelding niet goed wordt afgedrukt. Een koude zone kan er weer toe leidden dat de randen van het paneel niet goed worden geheel verhit. We hebben deze infraroodverwarmers ontworpen om deze variabiliteit zo vroeg mogelijk tegen te gaan.
Wat echt belangrijk is
Wij gebruiken kortegolf-infraroodstraling met kwarts-elementen die snel reageren. Hierdoor wordt de hitte gericht en snel overgedragen. Het substraat wordt verhit, niet de lucht in de kamer. Dit zorgt voor een constante temperatuur op het actieve oppervlak van het substraat, binnen een marge van ±0,1°C. De gesloten regelsystemen zorgen ervoor dat de temperatuur constant blijft, zodat de parameters van het proces consistent blijven, ongeacht hoe vaak het proces wordt uitgevoerd. De verwarmers zijn geschikt voor gebruik in zuiverruimtes van klasse 1-100. Ze gebruiken materialen die weinig gassen afgeven en hebben een ontwerp dat geen deeltjes veroorzaakt.
Dit werkt goed in situaties waar het echt toe doet: bij lithografie en het verwerken van fotoresist. De thermische behoeften zijn beperkt. Deze verwarmers brengen het substraat snel op de gewenste temperatuur, zodat de productietijd korter wordt, zonder dat de nauwkeurigheid van het proces wordt aangetast. Een grotere uniformiteit betekent minder defecten aan de randen en een betere opbrengst. Bovendien zorgt het ontwerp ervoor dat er weinig deeltjes vrijkomen, waardoor de kwaliteit van het product wordt beschermd. U bespaart ook energie, omdat de hitte rechtstreeks naar het substraat gaat, in plaats van in de kamer.
Een paar praktische tips: de verwarmers moeten op een manier geplaatst worden dat er een goede zichtlijn is, en de stroomtoevoer moet stabiel zijn. Spanningsfluctuaties kunnen de prestaties van de verwarmers beïnvloeden en de uniformiteit verminderen. Zorg voor een stabiele stroomtoevoer en controleer of er voldoende ruimte is langs het pad van het substraat. Eenmaal goed gealigneerd, hoeft het systeem maar zelden onderhoud te krijgen. Echter, alignering en zuiverheid maken deel uit van het routinematige onderhoud.