Pare de desperdiçar sua energia infravermelha
Sejamos honestos: desperdiçar energia é, basicamente, um defeito de projeto. No processo de processamento de wafers, isso acontece o tempo todo. A maioria das pessoas utiliza refletores feitos de alumínio, mas o problema é que grande parte dessa energia infravermelha acaba se perdendo ou sendo absorvida pelo invólucro do equipamento. É um desperdício.
É por isso que usamos refletores revestidos com ouro. O ouro é muito mais eficaz em refletir a luz infravermelha. Assim, em vez de o quadro da máquina ficar quente sem motivo, essa energia vai direto para onde deve ir: no wafer.
Por que o ouro é melhor que o alumínio polido
A maioria das fábricas usa alumínio polido porque é a opção padrão. Funciona, mas tem dificuldades quando o comprimento de onda da luz se torna maior.
O ouro é diferente. Ele capta uma porcentagem muito maior dessa radiação infravermelha de longo comprimento de onda. Ao revestir o refletor com ouro, podemos concentrar essa energia em um feixe bem focado. Isso permite obter uma maior densidade térmica no alvo, sem precisar aumentar a potência do equipamento e sobrecarregá-lo.
Sobre o calor
A questão é que, ao concentrar tanto a energia, a temperatura da lâmpada aumentará drasticamente. Você precisa garantir que o sistema de resfriamento seja capaz de lidar com esse calor. Se o fluxo de ar for insuficiente, os filamentos podem queimar mais cedo do que o esperado. Para manter a estabilidade em todo o wafer, geralmente combinamos esses refletores com lâmpadas de quartzo de alta potência. Isso ajuda a evitar que o perfil térmico fique fora de controle.
Como fazer a substituição
A boa notícia é que substituir esses refletores é bastante simples. Geralmente basta trocar o conjunto de refletores. Não há necessidade de mexer nos cabos ou desmontar o fornecimento de energia.
Mas – e isso é importante – é preciso recalibrar os controladores PID. Como o revestimento de ouro é muito mais eficaz na transferência de calor, os valores de ajuste antigos provavelmente não serão suficientes. Você precisará diminuir um pouco a potência para não danificar o substrato.