Por que estamos substituindo o ar quente pelo calor infravermelho nas salas limpas
Quando se trabalha com processamento de semicondutores, tudo se resume a uma coisa: tempo.
Se você ainda depende do ar quente para secar ou desgaseificar os materiais, provavelmente já sentiu frustração ao ver que o forno não consegue acompanhar o ritmo do trabalho. É por isso que muitos de nós estão optando pelo aquecimento por infravermelho.
A diferença é evidente na prática.
Os fornos tradicionais funcionam aquecendo o ar, na esperança de que esse ar aqueça o componente a ser tratado. É um processo lento. Há um atraso térmico, pois o calor precisa superar uma camada de ar antes de atingir o componente. É como tentar aquecer um ambiente com um aquecedor – você espera eternamente até que o ar se aqueça.
Já o calor infravermelho é diferente. Ele não se importa com o ar. Ele envia radiação eletromagnética diretamente para o alvo. Nas salas limpas, isso representa uma grande vantagem: não há necessidade de usar correntes de ar quente sobre os componentes delicados, o que reduz drasticamente o risco de contaminação. Além disso, não é preciso esperar que a cavidade do forno “se estabilize”. Basta ligá-lo e começar a usar imediatamente.
A velocidade é realmente o melhor aspecto desse método. Já vimos tempos de tratamento diminuírem em 50% a 80%. Como o material absorve o calor diretamente, é possível atingir a temperatura desejada quase instantaneamente. Isso permite processar mais materiais sem precisar reformar as instalações para acomodar mais equipamentos.
Mas atenção: o calor infravermelho não é uma solução mágica para tudo. Ele só funciona se a luz puder “ver” o componente a ser tratado. Se houver formas irregulares ou reentrâncias no componente, o calor não conseguirá chegar a todos os pontos. Para resolver isso, é preciso ser criativo – talvez usar arranjos de lâmpadas múltiplas ou dispositivos rotativos para garantir que todo o componente seja aquecido uniformemente. E uma observação importante: o calor infravermelho é intenso. Como o calor é aplicado rapidamente, os sensores precisam estar bem calibrados. Se eles forem lentos demais, é possível ultrapassar a temperatura desejada e danificar o substrato antes mesmo de percebermos o que aconteceu.