Инфракрасное излучение против систем с принудительной циркуляцией воздуха: что на самом деле эффективно для вашей чистой комнаты?
Переход с использования систем с принудительной циркуляцией воздуха на инфракрасное отопление в производстве полупроводников — это не просто замена одного типа оборудования на другой. Это совершенно иной подход к использованию энергии.
Подумайте о системах с принудительной циркуляцией воздуха. По сути, вы нагреваете огромный объем воздуха, в надежде, что тепло в конце концов дойдет до поверхности материала. На это уходит много времени. Вы просто ждете, пока комната нагреется, а этот временной промежуток серьезно снижает производительность.
Разница в скорости нагрева просто огромна. С инфракрасным излучением все происходит гораздо быстрее. Речь идет о электромагнитном излучении, которое не нуждается в воздухе для распространения; оно сразу же превращается в тепло при контакте с поверхностью материала.
Это особенно заметно при выпечке пластин или их обработке. Вместо того чтобы ждать минуты, пока воздух нагреется, достаточно лишь нескольких секунд. Это очень быстро. И это значительно повышает производительность.
Кроме того, системы с принудительной циркуляцией воздуха создают застой воздуха, что может привести к загрязнению поверхности силикона. У инфракрасных нагревателей такой проблемы нет: нет вентиляторов, сложных проводок и турбулентного потока воздуха, который может поднимать пыль. Таким образом, получается более чистая рабочая зона.
Но это не всё. Есть и недостатки. Инфракрасное излучение имеет направленный характер. Это похоже на фонарик, а не на одеяло. Если расстояние между лампами неправильное или углы расположения рефлекторов не соответствуют стандартам, возникают «горячие точки».
Нельзя просто настроить устройство и забыть о нем, как это делается с конвекционной печью. Необходимо точно определить расстояние и мощность нагревателя. Если слишком много энергии будет направлено в одну точку, температура может превысить допустимый уровень, прежде чем датчики успеют это заметить. Это может привести к деформации пластин.
Для правильной настройки требуется больше внимания, но как только расстояние и мощность будут определены правильно, результат будет значительно лучше.