
หยุดไม่ให้เศษชิ้นส่วนกระเด็นออกมา: วิธีรักษาความสะอาดของแผ่นวาเฟอร์เมื่อเครื่องทำความร้อนเกิดขัดข้อง
ในโรงงานผลิตชิป semiconductors ที่มีกำลังการผลิตสูง การที่หลอด IR เกิดการแตกนั้นไม่ใช่เพียงแค่ปัญหาด้านการบำรุงรักษาเท่านั้น แต่ถือเป็นปัญหาใหญ่ที่น่ากังวลมาก
ลองจินตนาการดูว่า หลอดควอตซ์ภายในกล่องปลอดฝุ่นแตกออกมา จะมีเศษแก้วและก๊าซฮาโลเจนกระเด็นมาใส่แผ่นวาเฟอร์โดยตรง แบบนี้ก็หมดสิทธิ์ได้ผลิตชิปไปเลย
เราออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบ IR มาเพื่อป้องกันไม่ให้เกิดเหตุการณ์แบบนี้ขึ้น
เหตุผลที่หลอดเกิดการแตก
โดยปกติแล้ว สาเหตุมักเกิดจากความเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว หรือจุดที่มีอุณหภูมิสูงเป็นพิเศษ เพื่อแก้ปัญหานี้ เราจึงใช้ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง และมีความหนาของผนังที่เพียงพอที่จะทนต่อการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิได้
แต่เรายังไม่หยุดเพียงแค่นั้น เรายังเพิ่มโครงสร้างเสริมเข้าไปอีกด้วย
เหตุผลก็คือ หากไส้หลอดเสียหาย หลอดก็จะไม่แตกออกมา แต่จะยังคงรูปร่างเดิมไว้ได้ นั่นหมายความว่าคุณจะไม่ต้องเผชิญกับอันตรายจากการระเบิดของหลอด
การป้องกันไม่ให้สิ่งสกปรกเข้ามา
เรายังใช้วิธีการป้องกันเพิ่มเติม โดยการเพิ่มซองควอตซ์ที่ทนความร้อนสูง หรือการเคลือบพื้นผิวเพื่อป้องกันไม่ให้สิ่งสกปรกเข้ามาในกล่องปลอดฝุ่น
วิธีนี้จะช่วยให้วัสดุภายในหลอดอยู่ในตำแหน่งที่เหมาะสม และไม่เข้ามาในกล่องปลอดฝุ่น
เคล็ดลับเกี่ยวกับสายไฟ
ส่วนที่มักเกิดปัญหามากที่สุดคือจุดเชื่อมต่อของสายไฟ ซึ่งมักจะเกิดการแตกเมื่ออยู่ภายใต้ความร้อนสูง เราจึงใช้ตัวปิดสายไฟที่มีความทนทานสูง เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดการรั่วไหลของกระแสไฟฟ้า
การหาจุดสมดุล
มีข้อแลกเปลี่ยนอยู่เสมอ คุณอาจต้องการกำลังไฟที่สูงขึ้น เพื่อให้แผ่นวาเฟอร์ร้อนขึ้นได้เร็วขึ้น แต่กำลังไฟที่สูงขึ้นก็หมายถึงแรงกดดันที่มากขึ้นต่อควอตซ์ด้วย
หากคุณต้องการให้มีความหนาแน่นของความร้อนสูงสุด คุณต้องมั่นใจว่าระบบระบายอากาศในกล่องปลอดฝุ่นสามารถระบายความร้อนออกไปได้ หากบริเวณโดยรอบมีอุณหภูมิสูงเกินไป หลอดก็จะเสียหายเร็วขึ้น
เราออกแบบอุปกรณ์เหล่านี้มาให้สามารถนำมาใช้แทนอุปกรณ์เดิมได้ทันที คุณสามารถเปลี่ยนอุปกรณ์ได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่ต้องกังวลเรื่องสภาพแวดล้อมภายในกล่องปลอดฝุ่นอีกต่อไป