ในโรงงานผลิตชิป คุณจะได้เรียนรู้อย่างรวดเร็วว่า แม้ว่าอุณหภูมิของวีเวอร์ที่ออกมาจากเครื่องอบจะมีความแตกต่างเพียง 1.2 องศาเซลเซียสเท่านั้น ก็อาจทำให้อุณหภูมิของวีเวอร์เกินขีดจำกัดที่กำหนดไว้ได้ เมื่อขนาดของชิปลดลง ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิก็จะสูงขึ้น ซึ่งก็ไม่น่าแปลกใจเลย ดังนั้น เครื่องอบจึงต้องสามารถสร้างความร้อนได้อย่างสม่ำเสมอ และต้องไม่มีอนุภาคใดๆ เกิดขึ้นระหว่างกระบวนการอบด้วย
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราใช้เครื่องอบวีเวอร์ที่มีหลอดกำเนิดแสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น หลอดเหล่านี้ช่วยสร้างสนามความร้อนที่สม่ำเสมอทั่วพื้นผิวของวีเวอร์ โดยมีความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.1 องศาเซลเซียส การตอบสนองทางอุณหภูมิที่รวดเร็วจะช่วยลดเวลาการอบ และตัวเครื่องอบก็ถูกออกแบบมาให้ใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยไม่มีอนุภาคใดๆ หลุดออกมาเลย อุณหภูมิที่ได้จะคงที่อยู่ในช่วง 1% ตลอดเวลา 5,000 ชั่วโมงขึ้นไป ดังนั้น ขั้นตอนการอบก็จะคงที่เช่นกัน
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผลดีในการประมวลผลวัสดุฟอโตรเซสทิฟ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิคือสิ่งที่ช่วยให้ได้ผลลัพธ์ที่ดี การกระจายความร้อนในระดับ sub-millimeter ช่วยให้ขนาดของเส้นที่วาดบนวีเวอร์คงที่ ซึ่งหมายความว่าจะมีการแก้ไขงานน้อยลง หลอดอบสามารถถึงอุณหภูมิที่กำหนดได้ภายในไม่กี่วินาที ดังนั้นจึงสามารถลดเวลาการอบได้ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะเครื่องอบจะทำการอุ่นวีเวอร์เท่านั้น ไม่ใช่ห้องทั้งหมด ดังนั้นจึงได้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอในแต่ละชุดงาน มีของเสียน้อยลง และยังช่วยลดค่าใช้จ่ายในการซื้อวัสดุอุปโภคด้วย
สิ่งที่คุณต้องทำให้ถูกต้อง การติดตั้งหลอดอบจะต้องทำให้เหมาะสมกับรูปร่างของห้องปฏิบัติการและการตอบสนองของตัวควบคุม PID หากกระจกสะท้อนหรือแหล่งจ่ายไฟมีขนาดไม่เหมาะสม ก็จะส่งผลให้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิลดลง ควรมีสายไฟ 24 โวลต์สำหรับควบคุมอุณหภูมิ เพื่อให้อุณหภูมิคงที่เมื่อแรงดันไฟฟ้าลดลง ควรตรวจสอบวัสดุที่ใช้ในการติดตั้งหลอดอบด้วย เพราะบางสารเคมีอาจทำให้หลอดอบเสื่อมสภาพเร็วขึ้น เมื่อติดตั้งและปรับแต่งเสร็จแล้ว การดูแลรักษาก็จะง่ายขึ้น แต่ความแม่นยำในการปรับแต่งก็ต้องอยู่ในระดับที่แม่นยำมาก คือไม่เกิน 0.2 มิลลิเมตร