Üretim sürecinde sıcaklık değişiklikleri sadece teorik bir sorun değildir; bu durum ürün kalitesini olumsuz etkiler. Bir LCD panel üretim tesisinde, fotoresistin ısıl işlemi sırasında ortaya çıkan tek bir sıcak nokta bile ürünün kalitesini bozabilir; soğuk bölgeler ise kenar kısımların yeterince pişmemesine neden olur. İşte bu tür değişkenlikleri en baştan ortadan kaldırmak için bu kızılötesi ısıtıcıları geliştirdik.
Asıl önemli olan şeyler
Hızlı tepki veren kuvars elemanlar kullanarak kısa dalga boyunda kızılötesi ısı üretilir; böylece ısı yönlü ve hızlı bir şekilde aktarılır. Böylece yalnızca substrat ısınır, oda havası değil. Bu sayede aktif yüzey üzerindeki sıcaklık farkı ±0,1°C civarında tutulur. Kapalı döngü kontrolü sayesinde ayarlanan sıcaklık değerleri 0,1°C altında tutulur; böylece yumuşak ve sert ısıl işlemlerin sonuçları her seferinde aynı kalır. Bu ısıtıcılar, düşük gaz salınımı yapan malzemeler ve parça oluşumunu engelleyen bir tasarıma sahip olduğundan, 1–100 sınıfı temiz odalarda kullanılabilir.
Bunun neden işe yaradığı şudur: Litografi ve fotoresist işlemlerinde termal denge çok önemlidir. Bu ısıtıcılar, substratı hızla istenen sıcaklığa getirir; böylece işlem süresi kısalarak da kalite kaybı yaşanmaz. Daha yüksek düzeyde homojenlik, daha az kenar kusuru ve daha iyi verim anlamına gelir. Ayrıca, ısı doğrudan hedefe aktarıldığı için enerji tasarrufu sağlanır.
Birkaç pratik not: Bu ısıtıcıların görüş hattı içinde yerleştirilmesi ve stabil bir güç kaynağına sahip olması gerekmektedir. Gerilim dalgalanmaları, ısıtıcının verimliliğini etkileyebilir. Stabil bir güç kaynağı kullanılmalı ve substratın hareket ettiği yol boyunca mekanik boşluklar kontrol edilmelidir. Hizalanma sağlandığında sistem uzun süre çalışabilir; ancak hizalanma ve temizlik, rutin bakımın bir parçası olmalıdır.