Aletinizi ısıtmayı bırakın ve yerine wafer’ınızı ısıtın.
Standart kızılötesi lambalar aslında sadece ampullerdir; ışığı her yöne yayarlar. Bir wafer işleme cihazında bu durum tam bir felaket olur. Isıyı yükselttiğinizde, bu enerjinin büyük bir kısmı wafer’e bile ulaşmaz. Bunun yerine doğrudan makinenin iç duvarlarına çarpar. Böylece “sıcak duvarlar” oluşur ve bu da cihazın iç parçalarının bozulmasına veya daha kötüsü, rutin bakım sırasında operatörün yanmasına neden olabilir.
Isının doğru yere gitmesini sağlama
Bunu, yönlendirilebilir kızılötesi teknolojisi kullanarak sağlıyoruz. Sadece bir kuvars tüpü kullanmak yerine, özel yansıtıcılar ve kaplamalar kullanıyoruz. Bunu bir mum yerine el feneri gibi düşünün. Kızılötesi enerjiyi doğrudan wafer’in yüzeyine yönlendiriyoruz ve onu makinenin dış kabuğundan uzak tutuyoruz. Böylece enerji boşa harcanmıyor. Ayrıca, aletin dış yüzeyi dokunulabilecek kadar soğuk kalıyor; bu da atölyenin güvenliğini artırıyor.
Zor kısım
Tabii ki bu durum “bir kez ayarlayıp unutma” durumu değil. Burada önemli olan optikler ile güç arasındaki dengeyi sağlamaktır. Bu dar demeti elde etmek için yansıtıcının geometrisinin mükemmel olması gerekir. Eğer lamba birkaç milimetre bile hareket ederse, ısı dağılımı bozulur. Böylece wafer üzerinde sıcak ve soğuk bölgeler oluşur ve verimlilik düşer. Ayrıca, enerjiyi odaklamak işleri hızla ısıtır. Yüksek güçlü bir lambayı küçük bir alana yerleştirirseniz, istediğiniz sıcaklığa ulaşmadan önce aşırı ısınma meydana gelebilir. Daha hızlı tepki verebilmek için PID kontrol cihazını ayarlamanız gerekecektir.
Atölye için pratik ipuçları
Bu cihazları kurarken lütfen yansıtıcıların hizalamasını tekrar kontrol edin. Hafifçe sapmış bir ayna, sadece işlemi bozmakla kalmaz; aynı zamanda tüm ısıyı tekrar aletin duvarlarına gönderir. Bu da tam olarak kaçınmaya çalıştığımız şeydir. Ayrıca, aynaların temiz tutulması önemlidir. Aynadaki biraz toz veya ince bir film, ışığın dağılmasına neden olur. Böylece hassas cihazınız devasa ve pahalı bir ısıtıcı haline gelir.