У процесі виробництва LCD-панелей дрейф температури є серйозною проблемою – це може призвести до пошкодження продукції. У заводах з виробництва LCD-панелей навіть одна точка з високою температурою під час процедури обробки фотополімеру може порушити якість продукції, а холодні зони можуть спричинити недостатнє в’ялення країв панелі. Ми створили ці інфрачервоні нагрівачі саме для усунення таких проблем на самому початку процесу виробництва.
Що справді має значення
Ми використовуємо інфрачервоне випромінювання короткої довжини хвилі разом із кварцовими елементами з швидкою реакцією. Це дозволяє ефективно нагрівати поверхню підкладки, не впливаючи на температуру повітря в камері. Це забезпечує однорідність температури на всій активній поверхні панелі з точністю до ±0,1°C. Система закритого контролю забезпечує стабільність температури на рівні менше 0,1°C, тож параметри процесу залишаються стабільними навіть після багатьох циклів виробництва. Нагрівачі підходять для використання в чистих приміщеннях класу 1–100, оскільки вони виготовлені з матеріалів, які мінімізують викиди частинок.
Це ефективно саме в тих процесах, де це має значення – під час літографії та обробки фотополімеру. Тут тепловий бюджет є дуже обмеженим. Ці нагрівачі дозволяють швидко підняти температуру підкладки, що скорочує час виконання процесу без погіршення якості продукції. Більша однорідність температури означає менше дефектів на краях панелі та кращу продуктивність. Крім того, нагрівачі підходять для використання в чистих приміщеннях, оскільки вони забезпечують низький рівень частинок, що захищає поверхню панелі та її критичні параметри. Ви також економите енергію, адже тепло надходить безпосередньо на поверхню підкладки, а не в приміщення.
Кілька практичних порад. Ці нагрівачі потребують правильного розташування та стабільного живлення – коливання напруги можуть вплинути на їхню роботу та порушити однорідність температури. Необхідно також забезпечити достатню відстань між нагрівачами та поверхнею підкладки. Після налаштування система може працювати тривалий час без необхідності технічного обслуговування, але налаштування та чистота є важливими елементами регулярного технічного обслуговування.