У процесі літографії піч для сушіння пластини не лише видаляє вологу. Вона також визначає температурний режим для подальших процедур обробки фоточутливого шару. Навіть незначна різница температури на поверхні пластини може призвести до зміни її параметрів, що не буде помітно на жодних датчиках контролю, поки не почнеться зниження якості продукції. Ми розробили елемент нагріву для печі, який запобігає цьому.
Основою елемента є кварцово-галогенний інфрачервоний елемент короткохвильового діапазону, поєднаний із мікрорегульованим відбивачем. Цей елемент забезпечує однорідність температури на всій поверхні пластини в межах ±0,1°C, а точність регулювання – ±0,2°C. Елемент може працювати в умовах чистої кімнати класу 1–100 без утворення частинок; матеріали з низьким рівнем випаровування та герметичне виконання елемента запобігають забрудненню. Температура може швидко та контрольовано змінюватися, що дозволяє досягти саме того температурного профілю, який необхідний для обробки фоточутливого шару.
На виробничій лініѦі це означає стабільний контроль критичних розмірів та меншу кількість продукції, яку потрібно переробити. Елемент працює 24/7 з можливістю передбачуваного технічного обслуговування, а точний температурний контроль дозволяє зменшити витрати енергії за цикл. Результати сушіння та обробки залишаються стабільними незалежно від черги обробки та завдяки різним моделям печей.
Встановлення є простим, але слід розглядати теплове з’єднання як процесну змінну. Режим циркуляції повітря в печі та допуски при монтажі елемента визначають рівень однорідності температури. Тож необхідно перевіряти калібрацію печі після заміни елемента. Елемент слід розглядати як частину теплової системи, а не як окремий елемент – тоді піч буде працювати як задумано, щоразу.