فیبرکی فلور پر، PECVD چیمبر کا درجہ حرارت کوئی عام سیٹنگ نہیں ہے؛ بلکہ یہی وہ عنصر ہے جس کی بدولت عمل کامیاب یا ناکام ہوتا ہے۔ اگر سوسیپٹر کا درجہ حرارت 1°C تک بدل جائے، تو فلم پر دباؤ میں تبدیلی آ جاتی ہے، اور ایچنگ کی رفتار بھی غیر یکساں ہو جاتی ہے۔ اگر انفراریڈ ایمیٹر اپنا کام صحیح طریقے سے انجام نہ دے، تو پھر آپ مطلوبہ معیار حاصل کرنے کی کوشش ہی نہیں کر سکتے۔
اس کی اہمیت کیا ہے؟
ہم شارٹ-ویو NIR ہیلوجن عناصر کو کوارٹز کے خول میں استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ یہ عناصر درجہ حرارت کو بہت تیزی سے قابو میں کرتے ہیں، اور اس طرح فلم کی یکسانیت کو برقرار رکھنے میں مدد کرتے ہیں۔ اس کے نتیجے میں، ایکٹیو زون میں درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر ہی رہتا ہے، اور ہر بار عمل کی تکراریت بھی برقرار رہتی ہے۔ یہ سسٹم کلین روم کے معیارات کے مطابق ہے – کلاس 1–100 – اور کام کے دوران کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے۔ نہ تو کوئی گیس خارج ہوتی ہے، نہ ہی فلم پر کوئی خراش آتی ہے… صرف مستقل حرارت ہی موجود رہتی ہے۔
عملی طور پر اس کی اہمیت کیا ہے؟
PECVD میں، درجہ حرارت ہی فلم کی تیاری کی رفتار، فلم کی کثافت، اور فلم پر لگنے والے دباؤ کا تعین کرتا ہے۔ ایمیٹر کی بدولت درجہ حرارت تیزی سے کنٹرول میں آ جاتا ہے، اور اس طرح سائیکل کا وقت کم ہو جاتا ہے، بغیر فلم کے معیار پر کوئی اثر پڑے۔ جب فوٹوریزسٹ کا استعمال کیا جاتا ہے، تو یہی حرارتی کنٹرول نظام فلم کو صحیح طریقے سے تیار کرنے میں مدد کرتا ہے، اور فلم کی لکیر کی چوڑائی کو بھی کنٹرول میں رکھتا ہے۔ بجلی کی کھپت بھی بہتر ہو جاتی ہے، اور ایمیٹر 24/7 کام کرنے کے باوجود کوئی مسئلہ پیدا نہیں کرتا… اس طرح آپ کے آلے کا کام کرنے کا وقت برقرار رہتا ہے۔
وہ تفصیلات جن کی بدولت آپ بعد میں خوش ہوں گے:
انسٹالیشن کو سوسیپٹر کی ساخت کے مطابق ہی کیا جانا چاہیے، تاکہ درجہ حرارت میں کوئی تغیر نہ آئے۔ کوارٹز کے حصوں کی دیکھ بھال بھی احتیاط سے کی جانی چاہیے… کیوں کہ خراشوں کی وجہ سے ایمیٹر کی کارکردگی متاثر ہو سکتی ہے، اور اس طرح فلم کی یکسانیت بھی خراب ہو سکتی ہے۔ تبدیلیوں کی منصوبہ بندی کرتے وقت، ایمیٹر کی کارکردگی کو چیمبر کے حرارتی بوجھ کے مطابق ہی رکھنا ضروری ہے، اور پھر ان-سیٹو میٹرولوجی کے ذریعے اس کی جانچ کرنی چاہیے۔