فیبرک فلور پر، جلد ہی یہ سمجھ میں آتا ہے کہ اگر اسپن ڈرائر سے نکلنے والے ویفر میں درجہ حرارت میں صرف 1.2 ڈگری سیلسیس کا فرق بھی ہو، تو یہ لیتھوگرافی کے مطلوبہ درجہ حرارت کی حدود سے باہر چلا جاتا ہے۔ جیسے ہی نوڈس چھوٹے ہوتے جاتے ہیں، فوٹو ریزسٹ کی پروسیسنگ کے دوران درکار درجہ حرارت کی حدیں بھی سخت ہوتی جاتی ہیں۔ ڈرائنگ لیمپ کو مسلسل اور تیز رفتاری سے حرارت فراہم کرنی ہوتی ہے، اور اس عمل میں کسی قسم کے ذرات پیدا نہیں ہونے چاہئیں۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
ہم شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز والے لیمپ استعمال کرتے ہیں۔ یہ لیمپ ویفر پر یکساں حرارتی ماحول پیدا کرتے ہیں۔ مطلوبہ درجہ حرارت کی درستگی ±0.1 ڈگری سیلسیس ہے، اور یہ درجہ حرارت پروسیسنگ کے دوران ہی ناپا جاتا ہے۔ تیز رفتار حرارتی ردِعمل سے پروسیسنگ کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور لیمپ کو کلاس 1-100 کے کلین روم میں استعمال کیا جاسکتا ہے، یعنی اس سے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے۔ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی درجہ حرارت 1% کے اندر ہی رہتا ہے، اس لیے پروسیسنگ کا عمل مستحکم رہتا ہے۔
فوٹو ریزسٹ پروسیسنگ میں اس کی کیا اہمیت ہے؟
یکساں حرارتی تقسیم ہی وہ عنصر ہے جو پروڈکشن کی کارکردگی کو برقرار رکھتا ہے۔ سب-ملی میٹر سطح پر یکساں حرارتی تقسیم سے ویفر کی سطح پر موجود خطوط کی چوڑائی مستحکم رہتی ہے، جس سے دوبارہ پروسیسنگ کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ لیمپ چند سیکنڈوں میں ہی مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے، اس لیے سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کا عمل بھی جلد مکمل ہو جاتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ صرف ویفر ہی گرم ہوتا ہے، کمرہ نہیں۔ اس طرح ہر بار یکساں نتائج حاصل ہوتے ہیں، فضلہ کم ہوتا ہے، اور خام مال پر خرچ ہونے والے پیسے بھی کم ہوتے ہیں۔
کیا چیزوں کو درست رکھنا ضروری ہے؟
لیمپ کو چیمبر کی ساخت اور کنٹرولر کے PID ردِعمل کے مطابق ہی نصب کرنا ضروری ہے۔ غلط ریفلیکٹرز یا کم طاقت والے پاور سپلائی سے یکسانیت متاثر ہو سکتی ہے۔ وولٹیج کم ہونے پر بھی مطلوبہ درجہ حرارت کو برقرار رکھنے کے لئے الگ 24V کنٹرول لائن کا استعمال ضروری ہے۔ کوارٹز کے آلات اور ماؤنٹنگ ہارڈویئر کو بھی مناسب کیمیکلز کے ساتھ ہی استعمال کرنا ضروری ہے؛ کیوں کہ کچھ کیمیکلز سے لیمپ کمزور ہو سکتا ہے۔ ایک بار لیمپ کو درست طریقے سے نصب کرنے کے بعد، اس کی دیکھ بھال بہت کم کرنی پڑتی ہے – لیکن درستگی کی حد صرف 0.2 ملی میٹر ہی ہے۔