Hệ thống sưởi bằng tia hồng ngoại so với hệ thống sưởi bằng khí nén: Loại nào thực sự phù hợp cho phòng sạch của bạn?
Việc chuyển từ hệ thống sưởi bằng khí nén sang hệ thống sưởi bằng tia hồng ngoại trong quy trình sản xuất chip bán dẫn không chỉ là việc thay đổi phương thức sưởi ấm mà còn là sự thay đổi hoàn toàn trong cách tiếp cận việc sử dụng năng lượng.
Hãy tưởng tượng về hệ thống sưởi bằng khí nén: Bạn thực chất đang làm nóng một “bong bóng khí” khổng lồ, hy vọng rằng nhiệt lượng sẽ lan tỏa đến bề mặt vật liệu cần được xử lý. Quá trình này mất rất nhiều thời gian. Bạn chỉ có thể ngồi chờ cho đến khi buồng xử lý đủ nóng, và khoảng thời gian chờ đợi này chính là yếu tố cản trở hiệu suất công việc của bạn.
Sự khác biệt về tốc độ thật đáng kinh ngạc.
Với hệ thống sưởi bằng tia hồng ngoại, bạn đang sử dụng bức xạ điện từ. Không cần có khí để truyền nhiệt; bức xạ này sẽ trực tiếp tác động lên vật liệu cần xử lý và biến thành nhiệt ngay lập tức.
Chúng ta có thể thấy điều này rõ nhất khi nướng các wafer hoặc làm khô chúng. Thay vì phải chờ vài phút để không khí nóng lên, giờ đây chỉ cần vài giây thôi. Điều này giúp tăng hiệu suất công việc đáng kể.
Ngoài ra, hệ thống sưởi bằng tia hồng ngoại cũng giúp giảm sự bụi bặm. Hệ thống sưởi bằng khí nén thì lại tạo ra nhiều bụi bặm. Với hệ thống sưởi bằng tia hồng ngoại, bạn sẽ có một môi trường làm việc sạch sẽ hơn nhiều.
Nhưng cũng không phải mọi thứ đều hoàn hảo. Vẫn còn một số hạn chế. Tia hồng ngoại có tính hướng định; nó giống như một chiếc đèn pin chứ không phải một tấm chăn. Nếu khoảng cách giữa các đèn không chính xác hoặc góc chiếu không phù hợp, bạn sẽ gặp phải tình trạng có những điểm quá nóng.
Bạn không thể chỉ cần thiết lập một lần rồi bỏ mặc nó như khi sử dụng lò sưởi thông thường. Bạn cần phải điều chỉnh chính xác khoảng cách và công suất của các đèn. Nếu bạn sử dụng quá nhiều công suất ở một điểm, nhiệt độ có thể vượt quá mức cho phép trước khi các cảm biến kịp phát hiện ra điều đó, và wafer có thể bị biến dạng.
Việc thiết lập hệ thống sưởi bằng tia hồng ngoại đòi hỏi sự chính xác cao hơn một chút. Nhưng một khi bạn đã điều chỉnh được khoảng cách và công suất một cách chính xác, thì hiệu quả sẽ vượt trội hơn nhiều.