Trong quá trình kiểm tra, mức độ ổn định của nhiệt độ được đo bằng độ, chứ không phải phút. Chỉ cần có sự thay đổi nhiệt độ nhỏ trong quá trình nung phim quang học thì cũng đủ để làm thay đổi các kích thước quan trọng của sản phẩm. Những hạt bụi nhỏ cũng có thể gây ra những tổn hại nghiêm trọng. Vì vậy, chúng tôi đã chế tạo thiết bị sưởi này nhằm loại bỏ những yếu tố gây biến động nhiệt độ.
Những gì chúng tôi đã làm Chúng tôi sử dụng các linh kiện hồng ngoại bước sóng ngắn và thiết kế cấu trúc cách nhiệt bằng thạch anh. Quá trình nung diễn ra nhanh chóng, và mức độ đồng đều của nhiệt độ trên từng tấm wafer chỉ dao động trong khoảng ±0,1°C. Các giá trị nhiệt độ được duy trì ổn định trong suốt quá trình nung, giúp tránh sai lệch trong việc xử lý phim quang học.
Thiết bị này được thiết kế để hoạt động trong môi trường phòng sạch cấp độ 1–100. Các điểm tiếp xúc được đóng kín, và các vật liệu được sử dụng có khả năng giảm lượng khí thải, từ đó giúp giữ mức độ bụi ở mức thấp. Thiết bị có thể hoạt động liên tục 24/7 mà mức độ biến đổi nhiệt độ vẫn ở mức dưới 0,05°C sau mỗi 1.000 giờ hoạt động.
Tại sao thiết bị này phù hợp cho công việc kiểm tra Trong quá trình kiểm tra, thiết bị sưởi giúp duy trì nhiệt độ ổn định ngay tại vị trí xử lý wafer. Điều này giúp giảm sự biến đổi nhiệt độ, từ đó giúp các điều kiện nung luôn ổn định từ lô sản xuất này sang lô sản xuất khác.
Điều này giúp giảm số lần tái xử lý, giảm lượng sản phẩm hỏng, và đảm bảo chất lượng sản phẩm luôn ổn định. Tốc độ phản ứng nhanh và mức tiêu thụ năng lượng thấp giúp kiểm soát chi phí năng lượng. Thời gian bảo trì cũng được rút ngắn. Không còn gì phải lo lắng nữa – chỉ cần tin tưởng vào chất lượng sản phẩm mà thôi.
Những gì bạn cần chuẩn bị Yếu tố quan trọng nhất là sự tương thích giữa thiết bị sưởi và các bộ phận khác của hệ thống. Thời gian cần thiết để chuẩn bị các kết nối, điện áp và các thành phần cần thiết là 2–3 tuần.
Để đạt được hiệu suất tốt nhất, hãy đảm bảo rằng dòng khí thải và dòng chất làm mát của thiết bị kiểm tra phù hợp với khả năng xử lý nhiệt của thiết bị sưởi. Nếu không, mức độ ổn định của nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng.