Trên sàn fab, hơi ẩm bị giữ lại—ở lớp photoresist hoặc tại giao diện wafer—gây ra sự cố trong kiểm soát nhiệt. Nó làm phân tán nhiệt, khiến các profile soft bake và hard bake lệch khỏi mục tiêu. Hệ quả là hiện tượng footing, scumming và biến động chiều rộng đường dẫn làm giảm tỷ lệ thu hoạch. Chúng tôi đã xây dựng một đèn loại bỏ độ ẩm trên wafer để loại bỏ biến số này khỏi phương trình.
Điều thực sự quan trọng bên trong
Chúng tôi sử dụng một đèn halogen bước sóng ngắn trong vỏ thạch anh, kết hợp với một pyrometer vòng lặp kín. Kết quả là độ đồng đều nhiệt trên wafer trong phạm vi ±0.1°C, và phản ứng dưới một giây, giúp quá trình tăng nhiệt giữ ổn định trên toàn bộ đường cong bake. Module này phù hợp với phòng sạch Class 1–100 và duy trì ổn định số lượng hạt theo thiết kế: cụm đèn không sinh ra hạt, và lớp lót buồng là vật liệu trơ, không phát thải khí. Mật độ công suất được điều chỉnh phù hợp với ngân sách nhiệt của các node tiên tiến, và tính lặp lại được đảm bảo bằng bảng phát xạ đã hiệu chuẩn theo từng ngăn xếp lớp màng.
Tại sao điều này quan trọng trong lithography và đóng gói
Trong lithography, soft bake thúc đẩy sự bay hơi dung môi và thiết lập ứng suất màng; hard bake ổn định giao diện mặt nạ trước khi ăn mòn. Loại bỏ ẩm từ giai đoạn trước giúp cả hai bước bake duy trì đúng mục tiêu. Kết quả là giảm số lần làm lại và cải thiện tính đồng đều kích thước chiều ngang quan trọng.
Ngoài ra còn tăng tốc chu trình coat-bake mà không bị quá nhiệt, và giảm năng lượng tiêu thụ mỗi lô nhờ kết nối NIR hiệu quả. Kết quả ổn định qua các lô. Trên dây chuyền đóng gói, nó làm khô bề mặt chuẩn bị underfill, giảm các lỗ trống và cải thiện độ bám dính.
Các chi tiết thực tế cần lưu ý khi lên kế hoạch
Việc lắp đặt cần có đường thoát khí riêng và nguồn điện sạch để giữ độ trôi nhiệt dưới 0.2°C/giờ. Đầu đèn tương thích với các cổng trên track tiêu chuẩn, nhưng kích thước chân đế không phù hợp với một số cell coat-bake đời cũ nếu không có bộ chuyển cơ khí nhỏ.
Thực hiện một đợt hiệu chuẩn ngắn để lập bản đồ phát xạ từng ngăn xếp và cài đặt offset cho pyrometer. Sau khi hiệu chuẩn, quy trình ổn định và đèn vận hành liên tục 24/7 với suy giảm công suất rất thấp.