在晶圆加工过程中，晶圆干燥或光刻胶固化时的温度波动不仅会导致效率降低，还会严重影响产品良率。如果晶圆表面出现3°C的温差，就可能会使晶圆的尺寸精度受到影响。而缓慢的升温过程则可能导致溶剂残留，进而引发缺陷。SK15红外灯正是为了解决这些问题而设计的，它通过精确控制的加热方式来避免这些故障。
在这个过程中，最重要的是控制精度。SK15采用短波红外元件，其响应时间可在几分之一秒之内，因此能够有效控制温度。对于300毫米的晶圆来说，其温度均匀性可保持在±0.1°C以内。其光谱特性与光刻胶的吸收特性相匹配，从而减少了边缘与中心之间的温度差异。此外，由于其设计中不存在颗粒物问题，因此它适用于1级到100级的洁净室环境。不会有任何气体释放、灯丝灰尘或因热循环产生的杂质。我们强调重复性的重要性，因为光刻工艺对温度控制的精度要求非常高——每次循环中，温度都必须保持在允许范围内。
其工作原理其实很简单：整个工艺过程变得可控。在晶圆干燥过程中，SK15能够快速去除水分，且不会导致温度过度上升，从而避免水分进入后续处理环节。而在光刻胶处理过程中，它能实现精确的温度控制，从而减少残余溶剂，提升粘附力以及线条的平滑度。这样一来，就能减少废品率，实现稳定的尺寸控制，同时提高生产效率。此外，由于红外灯直接对晶圆进行加热，而不是加热整个腔体，因此可以节省能量。
安装起来很简单，但仍然需要注重一些细节。SK15可以安装在标准晶圆烘箱平台上，只需确保烘箱控制器能支持该灯具的升温/保温功能即可。此外，还需要做好隔离措施，以避免其他组件受到热量影响。务必准确调整灯具的位置——哪怕是微小的偏差也可能导致温度不均匀。一旦设置好参数，就可以确保整个工艺过程的稳定性。