ওয়েফার শুকানো বা ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ার সময় তাপীয় অস্থিরতা কেবলমাত্র অকার্যকারিতার কারণ নয়; এটা উৎপাদন ক্ষমতাকেও ধ্বংস করে দেয়। ওয়েফারের উপর ৩°C এর মতো তাপীয় অস্থিরতা থাকলে ওয়েফারের গুরুত্বপূর্ণ আকারগুলো বিঘ্নিত হয়ে যায়। ধীর গতিতে তাপ সরবরাহ হলে দ্রবণগুলো ওয়েফারে আটকে যায় এবং ত্রুটি সৃষ্টি হয়। SK15 ইনফ্রারেড ল্যাম্পটি এই ধরনের সমস্যাগুলো দূর করার জন্য তৈরি করা হয়েছে; এটা নির্ধারিত তাপ সরবরাহ করে।
এখানে নিয়ন্ত্রণই সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ। SK15 শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড উপাদানগুলো ব্যবহার করে কাজ করে; ফলে তাপীয় অস্থিরতা কমে যায়। ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারের ক্ষেত্রে এটা ±০.১°C এর মধ্যে স্থিতিশীলতা বজায় রাখে। এর স্পেকট্রামটি ফটোরেজিস্টের শোষণ ক্ষমতার সাথে মিলে যায়; ফলে কিনারা ও মাঝখানে একই ধরনের তাপ প্রযোজ্য হয়। কম কণার কারণে এটা ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০ এর জন্যও উপযুক্ত। কোনো গ্যাস নির্গমন নেই, কোনো ধূলিকণা নেই, তাপীয় চক্রের ফলে কোনো অবশিষ্টাংশও থাকে না। লিথোগ্রাফিতে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ খুবই গুরুত্বপূর্ণ; তাই তাপমাত্রা সবসময় নির্ধারিত সীমার মধ্যে থাকে।
এটা কেন কাজ করে? কারণ এখানে প্রক্রিয়াটি নির্ধারিত নিয়ম অনুসরণ করে। ওয়েফার শুকানোর ক্ষেত্রে SK15 দ্রুত আর্দ্রতা দূর করে; ফলে পরবর্তী ধাপে কোনো জল থাকে না। ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ায় এটা সঠিক তাপীয় প্রোফাইল সরবরাহ করে; ফলে অবশিষ্ট দ্রবণগুলো কমে যায় এবং ওয়েফারের আকার স্থিতিশীল থাকে। ফলে কম ক্ষতিগ্রস্ত ওয়েফার পাওয়া যায়, স্থিতিশীল CD নিয়ন্ত্রণ সম্ভব হয়, এবং উৎপাদন ক্ষমতাও বাড়ে। শক্তি ব্যবহারও কমে যায়—কারণ ইনফ্রারেড রশ্মি সরাসরি ওয়েফারকে উত্তপ্ত করে, চেম্বারকে নয়; ফলে বাতাস উত্তপ্ত করার জন্য অপচয় হয় না।
ইনস্টলেশন সহজ; কিন্তু মনোযোগ দেওয়া প্রয়োজন। SK15 স্ট্যান্ডার্ড ওয়েফার ওভেন প্ল্যাটফর্মে সহজেই ইনস্টল হয়। শুধুমাত্র নিশ্চিত হওয়া দরকার যে ওভেন কন্ট্রোলারটি ল্যাম্পের প্রোটোকলগুলো সমর্থন করে কিনা। পাশের কম্পোনেন্টগুলো তাপ থেকে রক্ষা পাওয়ার জন্য উপযুক্ত সুরক্ষা ব্যবস্থা নেওয়া দরকার। ল্যাম্পের অ্যালাইনমেন্টও গুরুত্বপূর্ণ—সামান্য ভুলও অস্থিতিশীলতার কারণ হতে পারে। ল্যাম্পটি একবার সেট করে রাখলেই প্রক্রিয়াটি নিয়ন্ত্রণে থাকে।