ওভেন on IR Heating Lamp Parts

ক্লিন রুম ওভেন – ইনফ্রারেড হিটার

Thu, 23 Jul 2026 12:09:15 +0800

ক্লিন রুমে হট এয়ারের পরিবর্তে ইনফ্রারেড ব্যবহার করার কারণ
সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণের ক্ষেত্রে সবকিছুই আসলে “সময়”-এর উপর নির্ভর করে।
যদি আপনি কোনো জিনিসকে শুকানো বা গ্যাস অপসারণ করার জন্য এখনও ফোর্সড এয়ার ব্যবহার করেন, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই অসন্তুষ্ট হয়েছেন—কারণ ওভেনটি কাজটি সময়মতো সম্পন্ন করতে পারে না। এই কারণেই অনেকেই ইনফ্রারেড হিটিং ব্যবহার করছেন।

ঐতিহ্যবাহী ওভেনগুলো বাতাসকে উত্তপ্ত করে সেই বাতাস দিয়ে জিনিসটিকে উত্তপ্ত করার চেষ্টা করে। এটা খুবই ধীর প্রক্রিয়া। এখানে একটি সমস্যা রয়েছে—তাপটি কাজ করার জায়গায় পৌঁছানোর আগে একটি “থার্মাল ল্যাগ”-এর মধ্য দিয়ে যেতে হয়। এটা ঠিক যেন স্পেস হিটার দিয়ে ঘর উত্তপ্ত করার মতো—আপনাকে অনেকক্ষণ অপেক্ষা করতে হয়।

ওয়েফার ওভেনের জন্য SK15 ইনফ্রারেড ল্যাম্প

Sun, 28 Jun 2026 06:03:02 +0800

ওয়েফার শুকানো বা ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ার সময় তাপীয় অস্থিরতা কেবলমাত্র অকার্যকারিতার কারণ নয়; এটা উৎপাদন ক্ষমতাকেও ধ্বংস করে দেয়। ওয়েফারের উপর ৩°C এর মতো তাপীয় অস্থিরতা থাকলে ওয়েফারের গুরুত্বপূর্ণ আকারগুলো বিঘ্নিত হয়ে যায়। ধীর গতিতে তাপ সরবরাহ হলে দ্রবণগুলো ওয়েফারে আটকে যায় এবং ত্রুটি সৃষ্টি হয়। SK15 ইনফ্রারেড ল্যাম্পটি এই ধরনের সমস্যাগুলো দূর করার জন্য তৈরি করা হয়েছে; এটা নির্ধারিত তাপ সরবরাহ করে।

এখানে নিয়ন্ত্রণই সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ। SK15 শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড উপাদানগুলো ব্যবহার করে কাজ করে; ফলে তাপীয় অস্থিরতা কমে যায়। ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারের ক্ষেত্রে এটা ±০.১°C এর মধ্যে স্থিতিশীলতা বজায় রাখে। এর স্পেকট্রামটি ফটোরেজিস্টের শোষণ ক্ষমতার সাথে মিলে যায়; ফলে কিনারা ও মাঝখানে একই ধরনের তাপ প্রযোজ্য হয়। কম কণার কারণে এটা ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০ এর জন্যও উপযুক্ত। কোনো গ্যাস নির্গমন নেই, কোনো ধূলিকণা নেই, তাপীয় চক্রের ফলে কোনো অবশিষ্টাংশও থাকে না। লিথোগ্রাফিতে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ খুবই গুরুত্বপূর্ণ; তাই তাপমাত্রা সবসময় নির্ধারিত সীমার মধ্যে থাকে।

ওয়েফার শুকানোর ওভেনের হিটিং এলিমেন্ট

Sun, 21 Jun 2026 06:37:45 +0800

লিথোগ্রাফিতে, ওয়েফার ড্রাইং ওভেনটি শুধুমাত্র আর্দ্রতা অপসারণের জন্যই ব্যবহৃত হয় না। এটাই পরবর্তী ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়াগুলোর জন্য উপযুক্ত তাপমাত্রা নির্ধারণ করে। চাকের উপর ২°C তাপমাত্রার পার্থক্য থাকলে ওয়েফারের রেখার আকারে পরিবর্তন ঘটে; এই পরিবর্তনটি কোনো মেট্রোলজি চার্টে দেখা যায় না, যতক্ষণ না ওয়েফারের গুণমান কমতে থাকে। আমরা এই সমস্যা এড়াতে ওয়েফার ড্রাইং ওভেনের হিটিং এলিমেন্টটি বিশেষভাবে ডিজাইন করেছি।
এর কোরটি হলো কোয়ার্টজ-হ্যালোজেন শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এলিমেন্ট; এর সাথে মাইক্রো-জোনড রিফ্লেক্টর অ্যারেও রয়েছে। এটি পুরো ব্যাচের ওয়েফারগুলোর তাপমাত্রাকে ±০.১°C এর মধ্যে রাখে; আর সেটপয়েন্টের পুনরাবৃত্তি হয় ±০.২°C এর মধ্যে। এই এলিমেন্টটি ক্লাস ১–১০০ ধরনের ক্লিনরুম পরিবেশে কাজ করে; ফলে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না। কম গ্যাস নির্গমন এবং সিলড ডিজাইনের কারণে দূষণ রোধ হয়। তাপমাত্রা দ্রুত ও নিয়ন্ত্রণযোগ্য হওয়ায়, ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ার জন্য ঠিক তাপমাত্রা অর্জন করা যায়।
ফলে, ওয়েফারগুলোর গুণমান স্থিতিশীল থাকে এবং পুনর্কাজের প্রয়োজন কমে যায়। এই এলিমেন্টটি ২৪/৭ কাজ করে; আর নিয়ন্ত্রিত তাপমাত্রার কারণে প্রতি চক্রে শক্তি অপচয় কমে যায়। একাধিক ওভেনেও একই ধরনের ড্রাইং/বেকিং ফলাফল পাওয়া যায়।
ইনস্টলেশনটি সহজ; কিন্তু তাপীয় সংযোগকে একটি “প্রক্রিয়া ভেরিয়েবল” হিসেবে বিবেচনা করতে হবে। ওভেনের বায়ুপ্রবাহ ও এলিমেন্টের মাউন্টিং টলারেন্সই আসল সমানতা নির্ধারণ করে; তাই পরিবর্তনের পর চেম্বারের ক্যালিব্রেশন যাচাই করতে হবে। এলিমেন্টটিকে স্বতন্ত্র অংশ হিসেবে নয়, তাপীয় সিস্টেমের অংশ হিসেবে বিবেচনা করলে ওভেনটি প্রতিবারই নির্ধারিত মানে কাজ করবে।