Při inspekci se stabilita teploty měří v stupních, ne v minutách. Několik desetin stupně odchylky během zahřívání fotoresistu stačí k narušení kritických rozměrů, a navíc mohou částice způsobit velké problémy. Vytvořili jsme tedy tento ohřívač určený k eliminaci této variabilitě.
Co jsme udělali Využili jsme krátkovlnné infračervené prvky a tepelnou konstrukci posílenou křemenem. Rychlost zahřívání je vysoká, přičemž rovnoměrnost teploty na povrchu waferu je kolem ±0,1 °C. Hodnoty nastavení teploty zůstávají stabilní během celého procesu zahřívání, takže parametry expozice a dalších procesů nekolísají.
Konstrukce je určena pro použití v čistých prostorách třídy 1–100 – s uzavřenými spoji a materiály s nízkou mírou uvolňování plynů, což zajišťuje stabilní počet částic. Zařízení funguje den za dnem, dokonce i 24/7, přičemž teplotní odchylka zůstává pod 0,05 °C za 1 000 hodin.
Proč je to vhodné pro inspekční procesy Při inspekci ohřívač stabilizuje teplotní profil přímo v místě, kde se nachází wafer. Odchylky v teplotě se snižují a podmínky zahřívání zůstávají stejné v každé várce.
To znamená méně oprav, méně odpadu a konzistentní výsledky inspekce. Rychlá reakce a nízká spotřeba energie zajišťují efektivní využití energie, zatímco dlouhá doba provozu zkracuje dobu údržby. Žádné problémy – jen spolehlivé výsledky.
Co potřebujete k provozu Kompatibilita závisí na mechanických specifikacích zařízení, napájecím systému a ovládacím rozhraní. Doba dodání konektorů, napětí a dalších komponentů trvá 2–3 týdny.
Pro nejlepší výkon je nutné zajistit, aby průtok vzduchu a chladiva v inspekčním zařízení odpovídal teplotnímu zatížení ohřívače. Pokud tomu tak není, stabilita nastavených hodnot se zhorší.