http://ir-heat-parts.com/cs/tags/bake/ Recent content in Bake on IR Heating Lamp Parts Hugo cs Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/cs/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/cs/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Ohřívač pro tepelné zpracování po vystavení (PEB)"></p> <p>V prostředí lithografie se odchylky teploty PEB neobjevují pomocí výstražného světla. Projevují se spíše jako odchylky šířky proužků na povrchu čipů, což zase vede ke snížení vý<a href="https://goldisgood.com">nosnosti</a> výroby – což nelze zjistit žádnou kontrolou. V továrnách na výrobu polovodičů není termální reprodukovatelnost něčím volitelným – jedná se o základ procesní kontroly.</p> <p><strong>Co je z technického hlediska důležité</strong><br> Heater PEB je konstruován s použitím krátkovlnných infračervených elementů a termální konstrukce na bázi kvarcu. Díky tomu dosahuje homogenita teploty na povrchu čipů hodnoty ±0,1 °C. Teplotní hodnoty se přesně opakují po každém cyklu, což udržuje stabilitu chemické reakce fotorezistu. Systém je vhodný pro použití v čistých prostorách – kompatibilní s kategoriemi 1–100. Materiály použité v systému zabraňují vzniku částic. Systém funguje 24/7 bez neplánovaných přerušení a zároveň snižuje spotřebu energie, aniž by došlo ke ztrátě termální stability.</p>