Sicherheit bei der Erwärmung flüchtiger Chemikalien
Seien wir ehrlich: Die Erwärmung von Chemikalien zur Reinigung von Halbleitern ist eine heikle Aufgabe. Wenn man mit Lösungsmitteln arbeitet, die leicht in Flammen aufgehen oder explodieren können, dann ist ein einziger Funke oder ein offener Heizelement nicht einfach nur ein „technisches Problem“ – das ist eine Katastrophe.
Deshalb haben wir auf den Einsatz von Lampen mit offenen Heizelementen verzichtet. Stattdessen umhüllen wir unsere Infrarot-Heizsysteme mit einer speziellen Abdichtung. Das ist eine einfache Lösung, die jedoch einen großen Einfluss darauf hat, wie gut man nachts schlafen kann.
Warum die Abdichtung wichtig ist
Standard-Infrarotlampen sind zwar sehr effektiv darin, Wärme abzugeben – doch ihre elektrischen Anschlüsse sowie die Quarztuben bleiben dabei dem Luftzug ausgesetzt. In einer chemischen Umgebung führt das zu Problemen. Korrosive Dämpfe können die Verkabelung beschädigen oder direkt in den Lampenkörper eindringen.
Wir lösen dieses Problem, indem wir den gesamten Lampenkörper hermetisch abdichten. Man kann sich das wie eine physische Barriere zwischen den heißen elektrischen Komponenten und den gefährlichen Gasen vorstellen.
Wir verwenden dafür Materialien, die auch unter dem Einfluss aggressiver Reinigungsmittel nicht beschädigt werden. Das Ziel ist eine luftdichte Abdeckung. Wenn die explosive Atmosphäre nicht in den Lampenkörper eindringen kann, kann sie auch keine Probleme verursachen. So einfach ist das.
Ausbalancierung von Wärme und Sicherheit
Man fragt sich vielleicht, ob die Abdichtung die Leistungsfähigkeit der Lampe beeinträchtigt. Das ist nicht der Fall. Man erhält weiterhin die schnellen Reaktionszeiten, die für die Bearbeitung der Wafer benötigt werden.
Es gibt jedoch einen Haken: Die Abdichtung führt dazu, dass Wärme im Inneren der Lampe gehalten wird und somit Druck entsteht. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem. Ist die Abdeckung zu dick, kann die Infrarotwärme nicht durchdringen. Ist sie zu dünn, könnte die Abdichtung unter dem Druck reißen.
Wir haben viel Zeit investiert, um diese Geräte so zu gestalten, dass sie ständige Heiz- und Kühlschwingungen aushalten können, ohne kaputtzugehen. Man bemerkt zwar eine leichte Verschlechterung der Effizienz im Vergleich zu einer normalen Glühbirne – aber ehrlich gesagt: Das ist ein geringer Preis für den Schutz der Reinraumumgebung.
Einfachere Handhabung
Wir wollten auch nicht, dass Sie stundenlang in einer gefährlichen Umgebung Reparaturen durchführen müssen. Deshalb haben wir diese Geräte als einfache Austauschmodule konzipiert. Wenn eine Lampe schließlich ausfällt, müssen Sie nicht in einer gefährlichen Umgebung mit der Verkabelung herumhantieren. Man tauscht einfach das ganze Gerät gegen ein neues aus. Dadurch wird die Stillstandzeit minimiert. Zudem ist die Abdichtung jedes Mal perfekt, sobald man ein neues Gerät einsetzt.