Bei der Trocknung des Fotolacks liegt die Kontrolle über die Linienbreite. Schon eine Temperaturverschiebung von 0,5 °C führt zu Ungenauigkeiten in der Linienbreite sowie zu anderen Problemen. Die Ersatzteile für Leybold-Vakuumheizer sind so konzipiert, dass sie eine konstante Temperatur auch über viele Stunden hinweg gewährleisten – und zwar unter Vakuumbedingungen.
Was technisch wichtig ist: Wir verwenden Kurzwellenhalogenemitter aus hochreinem Quarz – dadurch wird eine schnelle Temperaturanhebung sowie eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Waferoberfläche erreicht. Der Heizerkörper ist für Reinraumbedingungen der Klassen 1–100 geeignet. Zudem entstehen während der thermischen Prozesse keine Partikel. Die Stabilität der Setpunkttemperatur beträgt ±0,1 °C – dadurch bleiben die Profile für die weiche und harte Trocknung konstant. Die Leistungsabgabe passt sich den Leybold-Plattformen an; standardisierte Anschlüsse und Steckverbinder ermöglichen einen schnellen Austausch der Komponenten. Die Isolierung aus Kohlenstofffasern sorgt dafür, dass die Wärme dort bleibt, wo sie benötigt wird – dadurch wird der Energieverbrauch reduziert, ohne dass die Leistung beeinträchtigt wird.
Warum das in der Lithografie wichtig ist: Beim Verarbeiten des Fotolacks dulden Unregelmäßigkeiten keine Fehler. Ein stabiles Trocknungsprofil bedeutet weniger Nacharbeiten und eine höhere Ausbeute bei der ersten Bearbeitungsschicht. Diese Ersatzteile sorgen dafür, dass das ursprüngliche thermische Profil wiederhergestellt wird – dadurch verbessert sich die Gleichmäßigkeit der Linienbreite. Bei kontinuierlicher Nutzung über 24/7 bleibt die Genauigkeit der Prozesse erhalten – dadurch werden unplanmäßige Stillstände vermieden.
Hinweise zur Installation: Die Installation ist einfach – doch die Umgebung im Behälter muss sauber und trocken sein. Reste aus dem Herstellungsprozess beschleunigen den Verschleiß der Emiter. Passten Sie Spannung und Anschlussorientierung an das jeweilige Leybold-Modell an. Überprüfen Sie außerdem den Typ des Thermoelements, damit es nicht zu Fehlern bei der Temperaturkontrolle kommt. Planen Sie den Austausch der Komponenten rechtzeitig – nicht erst im Notfall. So kann die Prozessdisziplin gewahrt bleiben.