Verhindern Sie Schäden durch Splitter: Wie man die Wafer sauber hält, wenn die Heizgeräte versagen
In einer Hochleistungs-Fertigungsanlage ist das Platzen einer Infrarotlampe mehr als nur ein „Wartungsproblem“ – es handelt sich dabei um einen Albtraum.
Stellen Sie sich vor, eine Quarzröhre platzt in Ihrer Schutzhülle. Plötzlich fallen Glassplitter sowie Halogengas direkt auf Ihre Wafer. Dadurch geht Ihre Produktivität verloren.
Wir entwickeln unsere Infrarotheizer so, dass so etwas nicht passiert.
Warum Lampen eigentlich zerbrechen
In der Regel liegt das Problem an thermischem Schock oder an lokalen Hotspots. Um dem entgegenzuwirken, verwenden wir hochreinen, verschmolzenen Quarz mit einer Wandstärke, die schnelle Erwärmung und Abkühlungskreisläufe unbeschadet übersteht.
Aber das war noch nicht alles. Wir haben außerdem eine verstärkte Hülle hinzugefügt. Das ist wichtig, denn wenn die Glühfäden ausbrennen, bricht die Röhre nicht einfach zusammen. Sie behält ihre Form und bleibt intakt. Dadurch kommt es nicht zu einer katastrophalen Explosion direkt über Ihren Produkten.
Vermeiden Sie den Eindringen von Schmutz
Wir nutzen außerdem eine zusätzliche Abschottung. Durch den Einsatz einer Hochtemperatur-Qarzhülle oder einer speziellen Beschichtung schaffen wir eine Trennschicht zwischen dem Heizelement und dem Prozessraum. Dadurch bleiben die Materialien der Lampe dort, wo sie hingehören – innerhalb der Lampe – und gelangen nicht in die Atmosphäre der Schutzhülle.
Ein Tipp zur Verkabelung: Die Dichtungen an den Anschlussleitungen sind unter hohen Temperaturen meist die ersten, die versagen. Wir verwenden daher verstärkte Endkappen, um solche Lecks bereits im Vorfeld zu verhindern.
Das Gleichgewicht finden
Es gibt jedoch ein Gegenüber: Man möchte höhere Leistung, damit die Wafer schneller auf die gewünschte Temperatur gebracht werden können. Doch mehr Leistung bedeutet auch mehr Belastung für den Quarz. Wenn man maximale Wärmedichte anstrebt, muss man sicherstellen, dass die Belüftung der Schutzhülle die überschüssige Wärme effektiv abführt. Wenn die Umgebungstemperatur zu hoch wird, sterben die Lampen schneller. So einfach ist das.
Wir produzieren diese Heizer als Ersatzteile – Sie können sie schnell austauschen, die Schutzhülle geschlossen halten und weiterarbeiten, ohne Ihr Umfeld zu gefährden.