Emitter on IR Heating Lamp Parts

Keramische Endkappe für IR Emitter

Mon, 13 Jul 2026 18:14:07 +0800

Verhindern Sie, dass Ihre IR-Lampen Ihre Wafer zerstören
In einer Hochlast-Umgebung können bereits eine oder zwei defekte Lampen dazu führen, dass ganze Chargen an Wafern innerhalb von Sekunden zerstört werden. Das ist ein Albtraumszenario. Wenn die Quarzhülle platzt, fallen Glassplitter und Partikel direkt auf die Substrate herab.

Deshalb verwenden wir keramische Endkappen. Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung – doch sie sorgen dafür, dass alles stabil bleibt – und vor allem sauber bleibt.

Umgang mit der Hitze
IR-Emitter werden unglaublich heiß. An den Verschweißungsstellen entsteht enorme thermische Spannung. Wenn man einfache Metallhalterungen verwendet, ruft das Probleme hervor. Wir haben diese durch hochreine keramische Halterungen ersetzt. Man kann sie als „thermische Polster“ betrachten. Sie liegen zwischen dem Quarztubus und den elektrischen Anschlüssen und absorbieren die mechanischen Belastungen während der Heiz- und Kühlzyklen. Dadurch wird verhindert, dass der Quarz bei hohem Stromverbrauch reißt.

PECVD Heizung – Infrarotstrahler

Wed, 24 Jun 2026 04:24:45 +0800

In der Fertigungshalle ist die Temperatur in der PECVD-Kammer keine bloß „Hintergrund-Einstellung“ – sie ist vielmehr entscheidend für den Ablauf des Prozesses. Eine Abweichung von 1°C am Substrat führt sofort zu Veränderungen in der Spannung des Films sowie zu Uneinheitlichkeiten in der Ätgeschwindigkeit. Wenn der Infrarotemitter seine Funktion nicht erfüllt, kann man nicht mehr an den vorgegebenen Spezifikationen arbeiten – man hat stattdessen nur noch Probleme mit den Produkten.

Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden kurzwellige NIR-Halogenelemente in einer Quarzkapsel. Dadurch wird eine präzise Temperaturregelung möglich. Das bedeutet eine Homogenität auf Waferniveau von ±0,1°C innerhalb der aktiven Zone sowie eine hohe Wiederholgenauigkeit, sodass das thermische Gleichgewicht von Charge zu Charge konstant bleibt. Die Anordnung der Komponenten eignet sich für Reinraumbedingungen (Klasse 1–100) – ohne dass während des Betriebs Partikel entstehen. Es gibt weder Ausgasungen noch Abschälungen. Lediglich konstanter Strahlungshitze.