http://ir-heat-parts.com/de/tags/inspektion/ Recent content in Inspektion on IR Heating Lamp Parts Hugo de Tue, 30 Jun 2026 05:28:44 +0800 http://ir-heat-parts.com/de/posts/semiconductor-inspection-tool-heater/ Tue, 30 Jun 2026 05:28:44 +0800 http://ir-heat-parts.com/de/posts/semiconductor-inspection-tool-heater/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Heizgerät für Halbleiter Inspektionstool"></p> <p>Bei der Inspektion wird die Stabilität des Heizsystems in Grad gemessen – nicht in Minuten. Schon wenige Zehntelgrad an Drift während des Trocknungsprozesses reichen aus, um kritische Abmessungen zu beeinflussen. Auch Partikel können dazu führen, dass die Ergebnisse ungenau werden. Wir haben daher einen Heizer entwickelt, der diese Unregelmäßigkeiten ausgleicht.</p> <p><strong>Was wir getan haben</strong><br> Wir haben kurzwellige Infrarotkomponenten sowie ein thermisches Design mit Quarzkern verwendet. Die Erwärmung erfolgt schnell, und die Gleichmäßigkeit auf Wafer-Ebene liegt bei ±0,1°C. Die Einstellungen bleiben auch während des Trocknungsprozesses konstant – dadurch bleiben die Bedingungen für die Belichtung und Entwicklung konstant.</p>