http://ir-heat-parts.com/de/tags/post/ Recent content in Post on IR Heating Lamp Parts Hugo de Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/de/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/de/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Heizgerät für die Nachbelichtung (PEB)"></p> <p>In der Lithografieabteilung zeigt sich eine Temperaturverschiebung des PEB-Heizers nicht durch ein Warnlicht an. Stattdessen zeigt sich diese Verschiebung in einer Veränderung der Linienbreite auf den Wafern – was wiederum zu einem Rückgang der Ertragsrate führt. Eine solche Situation lässt sich durch keine Prüfung genau feststellen. In einer Fertigungsstätte ist thermische Reproduzierbarkeit keine beliebige Eigenschaft – sie ist vielmehr eine grundlegende Voraussetzung für die Prozesskontrolle.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong> Wir haben den PEB-Heizer so konstruiert, dass er Kurzwellen-Infrarotkomponenten sowie einen kwartsbasierten Wärmekern verwendet. Dadurch bleibt die Homogenität der Temperatur auf der Oberfläche der Wafer bei ±0,1°C. Die Temperatursollwerte werden von Schuss zu Schuss genau eingehalten – dadurch bleibt die chemische Amplifikation des Fotoleitmittels stabil. Das System ist für Reinräume geeignet (Klasse 1–100) und verwendet Materialien, die eine Partikelbildung verhindern. Es kann 24/7 betrieben werden, ohne unplanmäßige Ausfälle. Zudem wird der Energieverbrauch reduziert, ohne dass die thermische Stabilität beeinträchtigt wird.</p>