Infrarotheizer für Vakuumkammern

Tue, 28 Jul 2026 05:28:57 +0800

Hören Sie auf, von Defekten der Lampen zu träumen – und fangen Sie an, sich darauf vorzubereiten.
Wenn Sie in einer Vakuumkammer mit hoher Leistung produzieren, kennen Sie dieses Problem nur allzu gut. Plötzlich funktioniert die Lampe nicht mehr – und das bedeutet Chaos. Überall liegen Quarzkristalle und Tungstonstaub, die sich direkt auf den Wafern ablagern. Mit einem einzigen Defekt ist die gesamte Produktionscharge ruiniert.

Ersatzteil für Leybold Vakuumheizer

Mon, 29 Jun 2026 07:27:28 +0800

Bei der Trocknung des Fotolacks liegt die Kontrolle über die Linienbreite. Schon eine Temperaturverschiebung von 0,5 °C führt zu Ungenauigkeiten in der Linienbreite sowie zu anderen Problemen. Die Ersatzteile für Leybold-Vakuumheizer sind so konzipiert, dass sie eine konstante Temperatur auch über viele Stunden hinweg gewährleisten – und zwar unter Vakuumbedingungen.

Was technisch wichtig ist: Wir verwenden Kurzwellenhalogenemitter aus hochreinem Quarz – dadurch wird eine schnelle Temperaturanhebung sowie eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Waferoberfläche erreicht. Der Heizerkörper ist für Reinraumbedingungen der Klassen 1–100 geeignet. Zudem entstehen während der thermischen Prozesse keine Partikel. Die Stabilität der Setpunkttemperatur beträgt ±0,1 °C – dadurch bleiben die Profile für die weiche und harte Trocknung konstant. Die Leistungsabgabe passt sich den Leybold-Plattformen an; standardisierte Anschlüsse und Steckverbinder ermöglichen einen schnellen Austausch der Komponenten. Die Isolierung aus Kohlenstofffasern sorgt dafür, dass die Wärme dort bleibt, wo sie benötigt wird – dadurch wird der Energieverbrauch reduziert, ohne dass die Leistung beeinträchtigt wird.

Vakuum on IR Heating Lamp Parts

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Ersatzteil für Leybold Vakuumheizer