در مرحله فرآوری فوتورزیست، کنترل ضخامت خطوط روی ویفر، در واقع به کنترل دمای گرمکن بستگی دارد. حتی تغییر دما به میزان ۰.۵ درجه سانتیگراد نیز میتواند منجر به تغییرات در عرض خطوط، ایجاد لکهها و هدر رفتن محصول شود. قطعات یدکی گرمکنهای لبولد طوری طراحی شدهاند که دما را در سطح بسیار پایینی، ساعت به ساعت، در شرایط خلا، تحت کنترل نگه دارند.
از نظر فنی، چه چیزی مهم است؟ ما از فرستندههای هالوژنی با طول موج کوتاه در کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این فرستندهها باعث افزایش سرعت گرم شدن و یکنواختی دما در سراسر ویفر میشوند. بدنه گرمکن نیز مناسب برای فضاهای پاکسازیشده با سطح خلوص ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین، این گرمکنها در طول چرخههای حرارتی، هیچ ذرهای را تولید نمیکنند. استابیلیت دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین پروفایلهای گرمایشی یکنواخت باقی میمانند. توان تأمین شده نیز متناسب با سیستمهای لبولد است؛ در پیوندها و ساختارهای ترمینال، امکان تعویض سریع وجود دارد. عایقبندی با الیاف کربنی نیز باعث میشود گرما در جای مناسب خود باقی بماند؛ این امر باعث کاهش مصرف انرژی بدون کاهش کارایی گرمکن میشود.
چرا این موضوع در فرآیند لیتوگرافی مهم است؟ فرآیند فرآوری فوتورزیست، هیچ نوع عدم یکنواختی را تحمل نمیکند. پروفایل گرمایشی یکنواخت، منجر به کاهش تعداد محصولات ناموفق و افزایش بازدهی در فرآیند تولید میشود. این قطعات یدکی، پروفایل حرارتی اصلی را دوباره برقرار میکنند؛ بنابراین یکنواختی عرض خطوط افزایش یافته و کوتاه شدن انتهای خطوط کاهش مییابد. این دستگاهها میتوانند ۲۴ ساعته کار کنند؛ بنابراین امکان تکرار فرآیند در هزاران چرخه وجود دارد؛ این امر باعث کاهش زمان توقف غیرمنتظره و صرفهجویی در زمان مهندسی میشود.
نکات مربوط به نصب: نصب این دستگاهها ساده است؛ اما محیط اتاق باید تمیز و خشک باشد؛ زیرا محصولات جانبی فرآیند، باعث تخریب سریعتر فرستندهها میشوند. ولتاژ و جهت پیوندها باید متناسب با مدل خاص لبولد باشد؛ همچنین، باید نوع ترموکوپل نیز بررسی شود تا از اختلالات در کنترل دما جلوگیری شود. تعویض قطعات باید به صورت پیشگیرانه انجام شود، نه در صورت بروز مشکلات اضطراری. این روش، باعث حفظ دقت فرآیند تولید میشود.